[发明专利]支撑装置、投影光学系统、曝光装置、物品制造方法及调整方法

说明书

本发明提供支撑装置、投影光学系统、曝光装置、支撑装置的调整方法以及物品制造方法。支撑物体的支撑装置具备分别支撑上述物体的互不相同的部位的至少3个支撑机构。上述至少3个支撑机构分别包括：以在第1方向具有自由度的方式由第1平行板簧机构支撑的可动部；经由第2平行板簧机构而与上述可动部连接的输入部；调整上述输入部的位置的进给丝杠；中间体；将上述物体与上述中间体连结的第1弹性铰链；以及将上述中间体与上述可动部连结的第2弹性铰链。上述第2平行板簧机构的刚性低于上述第1平行板簧机构的刚性。

技术领域

本发明涉及支撑装置、投影光学系统、曝光装置、支撑装置的调整方法以及物品制造方法。

背景技术

目前正在寻求能够进行跟正交的2个轴方向上的位置以及围绕与该2个轴方向正交的轴的旋转相关的微调整且能以高刚性支撑物体的支撑装置。作为这样的装置，在专利文献1中提出了具有柔性铰链以及促动器的工作台装置。该工作台装置具备：具有第1工作台和能够相对于它相对移动的第2工作台的工作台；将第1工作台与第2工作台连结的柔性铰链；以及设在第1工作台与第2工作台之间的多个促动器。通过控制多个促动器而能调整第1工作台与第2工作台的相对位置以及旋转。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005－268760号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在像专利文献1所记载的那样由促动器对调整对象的物体进行定位的方式中，有必要使促动器始终动作，故而会因来自促动器的发热导致物体变形。

本发明的目的在于提供有利于调整物体的位置以及旋转而不会使该物体变形的技术。

用于解决课题的方案

本发明的第1方面涉及支撑物体的支撑装置，上述支撑装置具备分别支撑上述物体的互不相同的部位的至少3个支撑机构，上述至少3个支撑机构分别包括：以在第1方向具有自由度的方式由第1平行板簧机构支撑的可动部；经由第2平行板簧机构而与上述可动部连接的输入部；调整上述输入部的位置的进给丝杠；中间体；将上述物体与上述中间体连结的第1弹性铰链；以及将上述中间体与上述可动部连结的第2弹性铰链，上述第2平行板簧机构的刚性低于上述第1平行板簧机构的刚性。

本发明的第2方面涉及具备对包括光学元件的物体进行支撑的支撑装置的投影光学系统，上述支撑装置具备分别支撑上述物体的互不相同的部位的至少3个支撑机构，上述至少3个支撑机构分别包括：以在第1方向具有自由度的方式由第1平行板簧机构支撑的可动部；经由第2平行板簧机构而与上述可动部连接的输入部；调整上述输入部的位置的进给丝杠；中间体；将上述物体与上述中间体连结的第1弹性铰链；以及将上述中间体与上述可动部连结的第2弹性铰链，上述第2平行板簧机构的刚性低于上述第1平行板簧机构的刚性。

本发明的第3方面涉及曝光装置，上述曝光装置具备：驱动原版的原版驱动机构；驱动基板的基板驱动机构；以及以将上述原版的图形投影到上述基板上的方式配置的上述第2方面所涉及的投影光学系统。

本发明的第4方面涉及物品制造方法，上述物品制造方法包括：曝光工序，由上述第3方面所涉及的曝光装置对涂敷有感光材料的基板进行曝光；以及显影工序，对经受过上述曝光工序的上述基板的上述感光材料进行显影，从经受过上述显影工序的上述基板制造物品。