[发明专利]一种复合焊料预成型片及其制备方法、及封装方法在审
申请号: | 202011097281.9 | 申请日: | 2020-10-14 |
公开(公告)号: | CN112192085A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 李明雨;杨帆;祝温泊;胡博 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学(深圳) |
主分类号: | B23K35/22 | 分类号: | B23K35/22;B23K35/26;B23K35/36;B23K35/40;H01L21/56 |
代理公司: | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人: | 黎健任 |
地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 复合 焊料 成型 及其 制备 方法 封装 | ||
1.一种复合焊料预成型片,其特征在于:其包括基体,所述基体为预烧结银薄膜,所述基体的一面或两面设有焊料层,所述焊料层的焊料为低温锡基焊料或高温玻璃料。
2.根据权利要求1所述的复合焊料预成型片,其特征在于:所述预烧结银薄膜的厚度为20-200μm,银含量大于95%,孔隙率为50-90%。
3.根据权利要求1所述的复合焊料预成型片,其特征在于:所述焊料层通过冷喷涂、蒸镀或溅射的方式形成在基体的表面。
4.根据权利要求3所述的复合焊料预成型片,其特征在于:所述焊料层的厚度为5μm-50μm。
5.根据权利要求1所述的复合焊料预成型片,其特征在于:所述低温锡基焊料为锡、锡银铜焊料、锡银焊料、锡铜焊料或锡锌焊料;所述高温玻璃料包括V2O5、ZrO2、ZnO、BaO、BiO中的一种或几种的混合物。
6.如权利要求1~5任意一项所述的复合焊料预成型片的制备方法,其特征在于,其包括以下步骤:
步骤S1,制备银浆料;
步骤S2,对银浆料进行加热获得预烧结银薄膜;
步骤S3,在银薄膜上制备焊料层。
7.根据权利要求6所述的复合焊料预成型片的制备方法,其特征在于:所述银浆料包括银颗粒和有机载体,所述银浆料中的固含量为50-80wt%;所述银颗粒包括片状银、球状银、棒状银、线装银中的至少一种。
8.根据权利要求6所述的复合焊料预成型片的制备方法,其特征在于:步骤S2中,预烧结银薄膜通过银浆料低温烘烤制成,烘烤温度为150-200℃;步骤S3中,焊料层通过冷喷涂、蒸镀或溅射的方法沉积在银薄膜上。
9.一种封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S10,将复合焊料预成型片放置于下基板的表面;所述复合焊料预成型片为如权利要求1~5任意一项所述的复合焊料预成型片;对于金、银、铜或镍表面金属化基板,采用焊料层为低温锡基焊料的复合焊料预成型片;对于铝基板或陶瓷基板,采用焊料层为玻璃料焊料料的复合焊料预成型片;
步骤S20,将芯片通过热压贴片的方式表贴于复合焊料预成型片上,形成堆叠结构;
步骤S30,对堆叠结构进行热压烧结。
10.根据权利要求9所述的封装方法,其特征在于:步骤S20中,热压贴片的温度为100-150℃,压力为0.1-2MPa,时间为10-30s;步骤S30中,热压烧结的温度为230-300℃,压力为1-20MPa,时间为1-10min。
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