[发明专利]一种微镜结构及其制备方法

权利要求书

1.一种微镜结构，其特征在于，包括：衬底晶圆（101）、驱动电极层（120）、第一绝缘层（105）、支撑梁（103）、固定层（102）和微镜（104）；

所述衬底晶圆（101）包括相对的第一表面和第二表面，所述驱动电极层（120）设置在所述第一表面；

所述衬底晶圆（101）和所述驱动电极层（120）上设有通孔，所述通孔依次贯通所述驱动电极层（120）、所述第一表面和所述第二表面；

所述第一绝缘层（105）设置在所述驱动电极层（120）远离所述衬底晶圆（101）的表面和所述通孔的内壁上；

所述支撑梁（103）包括第一端和第二端，所述第一端穿过所述通孔与所述固定层（102）连接，所述支撑梁（103）与所述通孔之间存在第一预设间隙（111）；

所述固定层（102）设置在所述第二表面，所述固定层（102）用于固定所述支撑梁（103）；

所述驱动电极层（120）中设有第一驱动电极（121）、第二驱动电极（122）和屏蔽电极（123），所述屏蔽电极（123）设置在所述第一驱动电极（121）与所述第二驱动电极（122）之间；

所述第一驱动电极（121）和所述第二驱动电极（122）的掺杂类型为第一掺杂类型，所述屏蔽电极（123）的掺杂类型为第二掺杂类型，所述第一掺杂类型与所述第二掺杂类型相反；所述第一驱动电极（121）与所述屏蔽电极（123）之间存在PN结，所述第二驱动电极（122）与所述屏蔽电极（123）之间存在PN结；

所述微镜（104）设置在所述第二端上，所述微镜（104）与所述第一绝缘层（105）之间存在第二预设间隙（112），所述微镜（104）靠近所述衬底晶圆（101）的表面与所述第一绝缘层（105）远离所述衬底晶圆（101）的表面平行。

2.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述驱动电极层(120)相对所述微镜的表面存在最低点，以所述最低点所在平面为基准面，所述驱动电极层（120）的表面上的最高点至所述基准面的距离为0-10nm。

3.根据权利要求2所述的微镜结构，其特征在于，所述微镜（104）、所述支撑梁（103）和所述固定层（102）的材质为多晶硅；和/或，

所述第一驱动电极（121）、所述第二驱动电极（122）和所述屏蔽电极（123）材质相同，所述第一驱动电极（121）、所述第二驱动电极（122）和所述屏蔽电极（123）的材质为单晶硅或多晶硅。

4.根据权利要求3所述的微镜结构，其特征在于，所述微镜（104）包括相对的第一侧和第二侧，所述第一侧上设有至少一个缺口，所述第二侧上设有至少一个缺口，所述第一侧上的缺口与所述第二侧上的缺口相对设置，所述第一侧上的缺口位置对应的所述驱动电极层（120）上设有第一驱动电极（121），所述第一侧上的缺口位置对应的所述驱动电极层（120）上设有第二驱动电极（122）。

5.根据权利要求4所述的微镜结构，其特征在于，所述第一预设间隙（111）的尺寸大于所述微镜结构的工作波长且小于3μm；和/或，

所述第二预设间隙（112）的尺寸为10-3000nm。

6.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述驱动电极层（120）与所述衬底晶圆（101）之间还设置有第二绝缘层（106）；和/或，

所述固定层（102）与所述第二表面之间还设有第三绝缘层。

7.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述微镜结构还包括光学结构（107），所述光学结构（107）设置在所述微镜（104）远离所述衬底晶圆（101）的表面上，所述光学结构为光栅或纳米光学结构。