[发明专利]一种大束流高密度的等离子源在审
| 申请号： | 202011092027.X | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112218419A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 徐鸣;唐欢欢;安建昊 | 申请（专利权）人： | 江苏微凯机械有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 | 代理人： | 吴淑芳 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大束流 高密度 离子源 | ||
【权利要求书】：
1.一种大束流高密度的等离子源，其特征在于：包括气体放电室(1)、阳极筒(2)、控制线圈(3)、阴极发生装置(4)、氧气进气管(5)和冷却水管路(6)；
所述气体放电室(1)内安装所述阳极筒(2)，且所述阳极筒(2)与所述气体放电室(1)绝缘；
所述阳极筒(2)外周侧沿轴向安装设有所述控制线圈(3)，所述控制线圈(3)可形成磁场；
所述阳极筒(3)内安装设有所述阴极发生装置(4)；
所述阴极发生装置(4)包括阴极(41)、安装在阴极(41)上的阴极加热器(42)和设置在阴极加热器(42)外侧的陶瓷绝缘片(43)；
所述氧气进气管(5)设置在所述气体放电室(1)的外侧且与所述气体放电室(1)连通；
所述冷却水管路(6)沿所述阴极发生装置(4)的周边设置。
2.根据权利要求1所述的一种大束流高密度的等离子源，其特征在于：所述阳极筒(2)为铜制成的圆柱体，且内外表面喷砂。
3.根据权利要求1所述的一种大束流高密度的等离子源，其特征在于：所述阴极发生装置(4)安装在所述阳极筒(2)的送气口的前方。
4.根据权利要求1所述的一种大束流高密度的等离子源，其特征在于：所述阴极(41)为六硼化镧制成。
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