[发明专利]低频振动致动器装置

权利要求书

1.一种低频振动致动器装置，其包括：

基板，所述基板包括一对连接电极；

致动器，所述致动器设置在所述一对连接电极上，以产生振动；

支撑件，所述支撑件设置在所述致动器上；

振动膜，所述振动膜设置在所述支撑件上，以根据所述致动器而振动；以及

振动块，所述振动块设置在所述振动膜上，以根据所述振动膜而振动，

其中，所述致动器包括多个层压绝缘层和内部电极，所述内部电极交替层压在彼此相邻的所述绝缘层之间，并且

与所述振动膜接触的所述支撑件的顶表面的面积等于或小于与所述致动器接触的所述支撑件的底表面的面积。

2.如权利要求1所述的低频振动致动器装置，其中，所述致动器进一步包括第一侧电极和第二侧电极，所述第一侧电极和所述第二侧电极电连接到所述内部电极上，并且

所述第一侧电极和所述第二侧电极分别电连接到所述一对连接电极上。

3.如权利要求1所述的低频振动致动器装置，其中，所述支撑件包括彼此间隔开的第一支撑部分，并且

所述第一支撑部分从所述致动器延伸到所述振动膜。

4.如权利要求3所述的低频振动致动器装置，其中，所述支撑件还包括第二支撑部分，所述第二支撑部分配置为覆盖所述致动器的顶表面，并且

所述第一支撑部分中的每一个从所述第二支撑部分的一部分延伸，以接触所述振动膜。

5.如权利要求1所述的低频振动致动器装置，其中，所述支撑件的顶表面与所述振动膜的边缘接触。

6.如权利要求1所述的低频振动致动器装置，其中，当从上侧观察所述振动块时，所述振动块具有圆形、椭圆形、多边形或十字(+)形中的一个形状。

7.如权利要求1所述的低频振动致动器装置，其中，所述致动器的共振频率大于所述振动块的共振频率。

8.如权利要求7所述的低频振动致动器装置，其中，所述振动块具有大约500Hz或更小的共振频率。

9.如权利要求1所述的低频振动致动器装置，其中，所述振动膜包括PDMS、PMMA、共聚酯、硅酮、聚氨酯、橡胶、聚酰亚胺(PI)或弹性体中的至少一种。

10.如权利要求1所述的低频振动致动器装置，其中，与所述振动膜接触的所述振动块的一部分的面积小于所述振动膜的面积。

11.如权利要求1所述的低频振动致动器装置，进一步包括设置在所述振动块上的保护层。

12.如权利要求1所述的低频振动致动器装置，其中，所述绝缘层中的每一个包括压电元件或电致伸缩元件中的至少一个。

13.一种低频振动致动器装置，其包括：

下基板，所述下基板包括一对连接电极；

致动器，所述致动器设置在所述一对连接电极上，以产生振动；

第一支撑件，所述第一支撑件设置在所述致动器上；

第一振动膜，所述第一振动膜设置在所述第一支撑件上；

振动块，所述振动块设置在所述第一振动膜上；

第二振动膜，所述第二振动膜设置在所述振动块上；

第二支撑件，所述第二支撑件设置在所述第二振动膜上；以及

上基板，所述上基板设置在所述第二支撑件上，

其中，所述第二支撑件的顶表面与所述上基板接触，并且所述致动器的共振频率大于所述振动块的共振频率。

14.如权利要求13所述的低频振动致动器装置，其中，与所述第一振动膜接触的所述第一支撑件的顶表面的面积等于或小于与所述致动器接触的所述第一支撑件的底表面的面积。