[发明专利]一种靶材的清洗方法在审

专利信息
申请号: 202011089333.8 申请日: 2020-10-13
公开(公告)号: CN112452946A 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 文宏福;郭文明 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;韶关市欧莱高新材料有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 李少欢
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 清洗 方法
【权利要求书】:

1.一种靶材的清洗方法,其特征在于:通过使用清洗设备对靶材(14)进行清洗,清洗设备设置有用于放置靶材(14)的清洗台(10),在清洗台(10)的对应上方设置有干冰清洁装置,包括以下步骤,

1)放置步骤,将需要清洗的靶材(14)平放于清洗设备的清洗台(10)的放置面(11),干冰清洁装置设置有干冰喷枪组(20),干冰喷枪组(20)设置有至少一个干冰喷枪(21),干冰喷枪(21)的枪口朝向放置面(11),干冰喷枪组(20)与清洁台相对移动,靶材(14)的靶面或靶面的相对面为主清洗面,主清洗面朝向所述干冰喷枪(21)的枪口,

2)调节设定步骤,清洗设备设置有控制部(13),控制部(13)设置干冰喷枪(21)的喷射参数,通过所述控制部(13)设置所述干冰喷枪组(20)或所述清洁台的相对移动的行程,

当干冰喷枪组(20)与清洁台相对移动的方向为靶材(14)的长度方向时,则干冰喷枪组(20)或清洁台的相对移动的行程大于等于靶材(14)的长度,根据靶材(14)的宽度设置干冰喷枪(21)的数量,干冰喷枪组(20)的喷射范围覆盖靶材(14)的宽度;

当干冰喷枪组(20)与清洁台相对移动的方向为靶材(14)的宽度方向时,则干冰喷枪组(20)或清洁台的相对移动的行程大于等于靶材(14)的宽度,根据靶材(14)的长度设置干冰喷枪(21)的数量,干冰喷枪组(20)的喷射范围覆盖靶材(14)的长度;

3)干冰清洗步骤,启动清洗设备,干冰喷枪组(20)与清洁台相对移动,使干冰喷枪(21)从靶材(14)的一侧移动至靶材(14)的另一侧,干冰喷枪(21)移动的同时对靶材(14)的主清洗面进行干冰喷射,干冰喷枪(21)喷射的干冰撞击靶材(14)表面,使靶材(14)表面的脏污脱落,

4)翻转清洗步骤,将已清洁的主清洗面的相对一面翻转并朝向干冰喷枪(21)枪口,重复3)干冰清洗步骤,使整个靶材(14)清洗过程控制在45分钟内完成清洗。

2.根据权利要求1所述的一种靶材的清洗方法,其特征在于:在所述2)调节喷枪参数步骤中,所述干冰喷枪(21)的喷射参数包括喷射流量控制在大于等于3.5kg/h,气压流量设置0.8~1m3/min,喷射压力设置在kgf/cm2,干冰的温度设置在-78.5℃以下,控制部(13)设置干冰喷枪组(20)与清洁台相对匀速移动,将干冰喷枪组(20)与清洁台的相对移动速度控制在300mm/min至550mm/min,将安装于所述干冰喷枪组(20)两端的干冰喷枪(21)的枪口朝向所述靶材(14)的侧面,

在所述4)翻转清洗步骤中,将整个所述靶材(14)清洗过程控制在20分钟内完成。

3.根据权利要求2所述的一种靶材的清洗方法,其特征在于:在所述干冰清洗步骤中,所述脏污包括所述靶材(14)表面的氧化物。

4.根据权利要求3所述的一种靶材的清洗方法,其特征在于:所述3)干冰清洗步骤,包括以下子步骤,

3.1)低温冷冻步骤,所述干冰喷枪(21)的干冰作用在靶材(14)需要清洁的表面,将表面的所述脏污冷冻脆化,使脏污由粘弹态变为固态,使脏污脆性增大,粘性减小,降低脏污在靶材(14)表面的附着力,

3.2)空气动力步骤,在干冰喷枪(21)的压缩空气作为动力的喷射环境下,对脆化的脏污与靶材(14)表面之间产生机械断裂,在脆化的脏污与靶材(14)表面的接触面产生应力集中,脆化脏污在剪切力的作用下进一步剥离,

3.3)干冰撞击步骤,在干冰喷枪(21)射出的干冰撞击并脆化脏污,使干冰将动能传递至脆化脏污,脆化脏污的附着力进一步减小,干冰喷枪(21)的气流使脏污脱离靶材(14)的表面。

5.根据权利要求4所述的一种靶材的清洗方法,其特征在于:所述干冰喷枪组(20)设置有喷枪固定杆(22),所述干冰喷枪(21)安装于喷枪固定杆(22),所述干冰清洁装置设置有支架(23),喷枪固定杆(22)安装于支架(23)。

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