[发明专利]一种光驱动微米棒马达系统在审
| 申请号： | 202011087908.2 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112260585A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 刘翡琼 |
| 主分类号： | H02N10/00 | 分类号： | H02N10/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710119 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 微米 马达 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种光驱动微米棒马达系统，其特征在于，包括：纤芯、凹槽、微米棒，所述纤芯的截面为圆形，所述凹槽非对称设置在所述纤芯的端面，所述微米棒的一端填充所述凹槽并被固定在所述凹槽内，所述微米棒的另外一端延伸出所述凹槽；应用时，在所述纤芯内通入脉冲激光，驱动所述微米棒摆动。
2.如权利要求1所述的光驱动微米棒马达系统，其特征在于：所述非对称是指所述凹槽偏离所述纤芯的轴线。
3.如权利要求2所述的光驱动微米棒马达系统，其特征在于：所述微米棒的材料为贵金属。
4.如权利要求3所述的光驱动微米棒马达系统，其特征在于：还包括覆盖部，所述覆盖部设置在所述纤芯的端面上、所述微米棒距离所述纤芯的边缘较近的一侧。
5.如权利要求4所述的光驱动微米棒马达系统，其特征在于：所述覆盖部的材料为贵金属。
6.如权利要求5所述的光驱动微米棒马达系统，其特征在于：所述覆盖部的厚度大于100纳米。
7.如权利要求6所述的光驱动微米棒马达系统，其特征在于：所述贵金属为金或银。
8.如权利要求1-7任一项所述的光驱动微米棒马达系统，其特征在于：在所述凹槽内，所述微米棒粗；所述微米棒延伸出所述凹槽部分细。
9.如权利要求8所述的光驱动微米棒马达系统，其特征在于：所述脉冲激光为飞秒脉冲激光、皮秒脉冲激光或纳秒脉冲激光。
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