[发明专利]一种声波传感器

说明书

本发明涉及一种声波传感器，包括壳体、石墨烯层、激光探测器和感压膜；所述壳体与所述石墨烯层组成封闭腔体，所述激光探测器设置在所述腔体内，所述感压膜附着在所述石墨烯层远离所述激光探测器的一侧；所述石墨烯层为石墨烯阵列。本发明中，不同声波，感压膜发生形变不同，进而石墨烯层发生不同形变，导致透射光谱发生不同变化，根据透射光谱的前后变化来检测声波。结构简单，检测灵敏度高。

技术领域

本发明涉及声波检测技术领域，特别是涉及一种声波传感器。

背景技术

声波传感器在当今非常重要。其中电容式传感器为常用的声波传感器，其具有两个彼此有间距的限定电容器的膜片。一个膜片固定，另一个膜片可通过待检测的声波发生位移。可移动膜片的位移决定了电容器的电容变化，该电容变化可由合适的读取电路检测并且可作为电信号输出，通过该电信号可推断出待检测的声波的特性，例如声压等。电容声波传感器灵敏度较高，但是其结构非常复杂。

另一种常用的声波传感器是压电声波传感器，其结构简单，使用由压电材料制成的薄膜，该薄膜可通过待检测的声波发生形变。压电膜的形变在压电膜中感应出电压，该电压可由合适的读取电路检测并且可作为电信号输出，通过该电信号可推断出待检测的声波的特性。虽然压电声波传感器结构简单，但其与电容声波传感器相比，灵敏度较低。

发明内容

本发明的目的是提供一种声波传感器，以简化声波传感器结构，提高检测灵敏度。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种声波传感器，包括壳体、石墨烯层、激光探测器和感压膜；所述壳体与所述石墨烯层组成封闭腔体，所述激光探测器设置在所述腔体内，所述感压膜附着在所述石墨烯层远离所述激光探测器的一侧；所述石墨烯层为石墨烯阵列。

可选地，所述感压膜为透明柔性膜。

可选地，所述石墨烯阵列为手性结构。

可选地，所述腔体内填充有光增益介质。

一种声波传感器，包括外壳、激光器、激光探测器、感压膜和石墨烯层；所述激光器和所述激光探测器设置在所述外壳内两侧，所述感压膜和所述石墨烯层设置在所述外壳内，所述感压膜附着在所述石墨烯层远离所述激光探测器的一侧；所述石墨烯层为石墨烯阵列；设置所述激光器的所述外壳的一侧开设有进声孔；未开设所述进声孔时所述感压膜和所述石墨烯层将所述外壳分割为两个封闭腔体，所述激光器和所述激光探测器分别设置在一所述封闭腔体内。

可选地，所述进声孔设置有多个。

可选地，所述感压膜为透明柔性膜；所述石墨烯阵列为手性结构。

可选地，设置有所述激光探测器的封闭腔体内填充有光增益介质。

根据本发明提供的具体实施例，本发明公开了以下技术效果：

本发明公开了一种声波传感器，包括壳体、石墨烯层、激光探测器和感压膜；所述壳体与所述石墨烯层组成封闭腔体，所述激光探测器设置在所述腔体内，所述感压膜附着在所述石墨烯层远离所述激光探测器的一侧；所述石墨烯层为石墨烯阵列。本发明中，不同声波，感压膜发生形变不同，进而石墨烯层发生不同形变，导致透射光谱发生不同变化，根据透射光谱的前后变化来检测声波信息。结构简单，检测灵敏度高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例1提供的一种声波传感器的结构图；

图2为本发明实施例1提供的石墨烯阵列的一种结构图；