[发明专利]一种电加热水洗式废气处理装置

说明书

本发明涉及一种电加热水洗式废气处理装置，包括第一进气口、电加热装置、粉尘过滤装置、智能冷却水洗系统和出气口，所述第一进气口设置在电加热装置上，电加热装置设置在粉尘过滤装置上，粉尘过滤装置设置在智能冷却水洗系统的水箱上部，出气口设置在智能冷却水洗系统的上部；还包括设置在第一进气口上部三通上的燃烧腔结垢去除装置，燃烧腔结垢去除装置设置有不锈钢毛刷，能够抵达电加热装置燃烧腔体内并刷除燃烧腔体内壁上的粉尘。本发明能够自动定时清洗燃烧腔体内壁上粘附的硅烷粉尘；减少新鲜水的用水量，降低运行成本；采用4位浮子控制水箱内低水位、高水位、超高水位，提升设备使用时的安全性能；采用四级喷淋系统，提升废气处理效率。

技术领域

本发明属于半导体、太阳能、薄膜电池、TFT等技术领域内的废气处理领域，具体涉及一种电加热水洗式废气处理装置。

背景技术

工艺废气处理设备既属于环保行业，又属于半导体等新兴行业专用高端智能附属设备。在集成电路的生产制造过程中，其中的一些工艺流程模块 (Module)如：化学气相沉淀(CVD)、刻蚀(Etch)、离子注入(Implant) 和扩散(Diffusion),以及非晶硅薄膜太阳能、液晶TFT-LCD薄膜的PECVD 工艺等都会用到大量的特殊气体。这些气体参与工艺反应之后，以废气的形式被排放，其种类可分为：有毒(Toxic)、酸性(Acid)、碱性(Alkali)、自燃(Self-ignitable)、易燃(Flammable)、腐蚀性(Caustic/Corrosive)以及全氟化合物(PFCs)与挥发性有机化合物(VOC)类气体等，

这些原来作为工艺原料或者反应副产物的有毒有害气体，其中一些有腐蚀各类管线的危险，有的与其他危害物相遇或累积较高浓度时会有火灾爆炸的危险，还有造成作业人员中毒、破坏大气环境等危害，为避免这些危害的发生，这些气体都必须经过无害化处理，使之符合国家大气排放标准后，方可排入大气中。这些领域的生产制造工艺中会使用到多种特殊气体、这些气体往往有剧毒、易燃、易爆等特点。未反应完的特气集中通入排气管道，在管道的后端需接入工艺气体处理设备进行处理后低于国家排放标准才能进行排放。

现有技术已经存在半导体废气的处理设备，例如CN204034529U，该现有技术主要用于防止排水时发生水锤效应而使排水管路损坏，能够处理半导体产品生产时产生的废气。但该现有技术还存在不少的缺点，例如：1、使用过程中新鲜水一直排入、废水一直排出，用水量大；2、刮刀分为内外刮刀，通过旋转方式刮除内壁结晶，刮刀容易卡住，不易维护；3、采用了双洗涤器，成本高，设备外形尺寸大；4、第二洗涤器通过导入外界空气混合而减低气体处理后的浓度，很难判断设备对有害气体的处理效率；5、结晶通过刮刀刮除后掉入水箱容易沉积结垢，无法有效排出；6、高温气体通过热裂解后进入第二洗涤器的过程中会导致水箱及流经的管路温度偏高；7、当高水位处液位计失灵或损坏时，液位不可控。

基于此，特提出本发明。

发明内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供一种电加热水洗式废气处理装置，具体的技术方案如下：

一种电加热水洗式废气处理装置，包括第一进气口、电加热装置、粉尘过滤装置、智能冷却水洗系统和出气口，所述第一进气口设置在电加热装置上，电加热装置设置在粉尘过滤装置上，粉尘过滤装置设置在智能冷却水洗系统的水箱上部，出气口设置在智能冷却水洗系统的上部；还包括设置在第一进气口上部三通上的燃烧腔结垢去除装置，所述燃烧腔结垢去除装置设置有不锈钢毛刷，能够抵达电加热装置燃烧腔体内并刷除燃烧腔体内壁上的粉尘。

进一步地，所述燃烧腔结垢去除装置包括动力驱动组件、法兰和不锈钢毛刷，动力驱动组件与法兰固定连接，动力驱动组件的伸缩杆端头设置不锈钢毛刷，所述不锈钢毛刷能在伸缩杆的带动下接近或者远离所述法兰。

可选地，所述动力驱动组件为气缸组件，包括长行程气缸主体、第一气管快换接头、第二气管快换接头和伸缩杆，第一气管快换接头和第二气管快换接头分别设置在长行程气缸主体的两端附近，用于驱动伸缩杆往复直线运动。