[发明专利]激振装置和振动台

权利要求书

1.一种激振装置，其特征在于，具有：

可安装被激振物的振动台；和

对所述振动台在规定方向上激振的激振单元，

所述振动台具有：

底板；

从所述底板的缘部垂直地突出的框部；和

格子状的中板，其配置于所述框部的内部，从所述底板垂直地突出，

被所述底板和所述框部包围的、能够收纳所述被激振物的中空部形成于所述振动台。

2.如权利要求1所述的激振装置，其特征在于：

所述振动台具有：供所述被激振物相对于所述中空部出入的第一开口部；和

供连接所述被激振物和外部装置的长形物通过的第二开口部。

3.一种激振装置，其特征在于，具有：

安装有被激振物的振动台；和

对所述振动台在规定方向上激振的激振单元，

所述振动台具有：

能够收纳所述被激振物的中空部；和

供连接收纳于所述中空部的所述被激振物和外部装置的长形物通过的第二开口部。

4.如权利要求3所述的激振装置，其特征在于：

所述振动台为大致箱形。

5.如权利要求4所述的激振装置，其特征在于：

所述振动台具有：

箱部，其在一个面形成有供所述被激振物相对于所述中空部出入的第一开口；和

封闭所述第一开口的盖部。

6.如权利要求3所述的激振装置，其特征在于：

所述振动台具有：

底板；和

从所述底板的缘部垂直地突出的框部。

7.如权利要求6所述的激振装置，其特征在于：

具有格子状的中板，其配置于所述框部的内部，从所述底板垂直地突出。

8.如权利要求7所述的激振装置，其特征在于：

所述中板接合于所述底板和所述框部。

9.如权利要求1或3所述的激振装置，其特征在于：

将所述被激振物安装于所述振动台时，所述被激振物的重心对垂直于所述规定方向的投影平面上的投影包含在所述激振单元的可动部对该投影平面上的投影中。

10.如权利要求9所述的激振装置，其特征在于：

所述振动台的重心对所述投影平面上的投影包含在所述激振单元的可动部对该投影平面上的投影中。

11.如权利要求1或3所述的激振装置，其特征在于：

所述振动台的重心配置于该振动台的外形的中心。

12.如权利要求1或3所述的激振装置，其特征在于：

所述中空部形成于所述振动台的中央部。

13.如权利要求1或3所述的激振装置，其特征在于：

所述激振单元包括X轴激振单元，该X轴激振单元对所述振动台在作为水平方向的X轴方向上激振。

14.如权利要求13所述的激振装置，其特征在于：

所述激振单元包括Y轴激振单元，该Y轴激振单元对所述振动台在垂直于所述X轴方向的作为水平方向的Y轴方向上激振。

15.如权利要求1或3所述的激振装置，其特征在于：

所述激振单元包括Z轴激振单元，该Z轴激振单元对所述振动台在作为铅垂方向的Z轴方向上激振。

16.如权利要求1或3所述的激振装置，其特征在于：

在所述振动台设置有用于安装所述被激振物的安装结构。