[发明专利]用于执行浸锡处理或铜镀覆处理的方法和设备在审
申请号: | 202011077336.X | 申请日: | 2020-10-10 |
公开(公告)号: | CN112647066A | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 海因里希·特里施勒 | 申请(专利权)人: | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 |
主分类号: | C23C18/52 | 分类号: | C23C18/52;C25D3/38;C25D5/00;C25D17/00;C23C18/38;C23C28/02 |
代理公司: | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人: | 王晖;曹桓 |
地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 执行 处理 镀覆 方法 设备 | ||
1.一种在部件承载件的生产中执行浸锡处理的方法,其中,所述方法包括:
在浸锡单元(120)中将所述部件承载件的铜表面的至少一部分浸入包含Sn(II)的组合物中,
同时使非氧化性气体穿行通过所述浸锡单元(120),其中,所述非氧化性气体的至少一部分被再循环。
2.根据权利要求1所述的在部件承载件的生产中执行浸锡处理的方法,其中,所述包含Sn(II)的组合物还包含酸和用于铜的络合剂。
3.根据权利要求2所述的在部件承载件的生产中执行浸锡处理的方法,其中,所述用于铜的络合剂包括硫脲,以及/或者其中,所述酸包括甲磺酸。
4.根据权利要求1所述的在部件承载件的生产中执行浸锡处理的方法,其中,所述浸入步骤是在50℃至95℃的温度处实施的,特别地,所述浸入步骤是在60℃至85℃的温度处实施的,特别地,所述浸入步骤是在70℃至75℃的温度处实施的;以及/或者
其中,所述浸入步骤是在升高的气压的情况下实施的,特别地,所述升高的气压为大气压力的1.02倍至1.2倍。
5.根据权利要求1所述的在部件承载件的生产中执行浸锡处理的方法,其中,所述非氧化性气体包括至少95体积百分比的氮。
6.根据权利要求1所述的在部件承载件的生产中执行浸锡处理的方法,其中,所述非氧化性气体的至少一部分被再循环和再利用,特别地,所述非氧化性气体的至少一部分被重新引入到所述浸锡单元(120)中。
7.根据权利要求1所述的在部件承载件的生产中执行浸锡处理的方法,还包括使所述非氧化性气体的至少一部分循环通过流体驱动单元(130)、气-气热交换器(140)、气-水热交换器(150)、水去除单元(160)和/或H2S去除单元(170)中的至少一者。
8.一种用于在部件承载件的生产中执行浸锡处理的设备(100),其中,所述设备(100)包括:
-至少一个非氧化性气体产生单元(110);
-至少一个浸锡单元(120);
-至少一个流体驱动单元(130);
-至少一个气-气热交换器(140);
-至少一个气-水热交换器(150);
-至少一个水去除单元(160),所述至少一个水去除单元(160)位于所述气-水热交换器(150)的上游和/或下游;
-至少一个H2S去除单元(170)。
9.根据权利要求8所述的用于在部件承载件的生产中执行浸锡处理的设备(100),
其中,所述设备构造成用于使大于100m3/h的非氧化性气体进行循环,特别地,所述设备构造成用于使大于200m3/h的非氧化性气体进行循环;以及/或者
其中,所述至少一个非氧化性气体产生单元(110)和所述至少一个浸锡单元(120)位于同一隔室中。
10.一种在部件承载件的生产中执行铜镀覆处理的方法,其中,所述方法包括:
在铜镀覆单元(220)中用铜来镀覆所述部件承载件的表面的至少一部分,
同时使非氧化性气体穿行通过所述铜镀覆单元(220),其中,所述非氧化性气体的至少一部分被再循环。
11.根据权利要求10所述的在部件承载件的生产中执行铜镀覆处理的方法,
其中,所述镀覆的步骤是在升高的气压的情况下实施的,特别地,所述升高的气压是大气压力的1.02倍至1.2倍;以及/或者
其中,所述非氧化性气体包括至少95体积百分比的氮。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理