[发明专利]一种基于光纤表面波导的法布里-珀罗干涉仪光纤传感器

权利要求书

1.一种基于光纤表面波导的法布里-珀罗干涉仪光纤传感器，其特征在于：它由飞秒激光在光纤内部加工而成的X型耦合器、光纤表面波导、纤芯上的参考FP腔和光纤表面波导上的传感FP腔构成。

2.根据权利要求1所述，本发明其特征在于：权利1中传感器使用的光纤是单模光纤。

3.根据权利要求1至2所述，本发明其特征在于：X型耦合器的作用是将纤芯中的光耦合至光纤表面波导，光纤表面波导在传输光的过程中有很强的倏逝场，可与周围介质相互作用，故可以进行光纤外部折射率传感；X型耦合器与光纤轴向夹角为0°至10°，起点距离纤芯0µm至5µm；光纤表面波导距离光纤表面为0µm至5µm。

4.根据权利要求1至3所述，本发明其特征在于：两个FP腔都是由两条平行的飞秒激光刻蚀线构成；使用飞秒激光沿垂直于光纤轴向方向，在不破坏光纤表面的同时，在光纤内部进行刻蚀，形成的刻蚀线可以反射、吸收、透射光纤内的传输光，可以视作一个反射镜。

5.根据权利要求1至4所述，本发明其特征在于：纤芯上的FP腔为参考腔；光纤表面波导上的FP腔为传感腔；参考腔的第二面反射镜与传感腔的第一面反射镜在同一垂直光纤轴向平面内。

6.根据权利要求1至5所述，本发明其特征在于：传感腔和参考腔长度分别为100µm至1000µm，反射镜长度为1µm至5µm，厚度为1µm至3µm。

7.根据权利要求1-6所述，本发明其特征在于：光纤表面波导中传播的光被传感FP腔反射，随后改变传感腔周围介质折射率或者单独对传感腔施加应力，通过测量其反射谱的漂移量来确定折射率或应力值。