[发明专利]傅里叶近红外光谱干涉仪及用于在线物料检测的仪器

权利要求书

1.一种傅里叶近红外光谱干涉仪，其特征在于，所述傅里叶近红外光谱干涉仪设置分束镜和补偿镜，所述分束镜先对入射光透射和反射；在所述分束镜和补偿镜的外侧分别设有角镜和平面镜对，所述角镜和平面镜对位于分束镜对入射光束的反射和透射光路上，所述角镜和平面镜对实现将光束原路反射回分束镜，再次在所述分束镜发生透射和反射，并在光线出口处发生干涉；

在一对角镜和平面镜光路中插入电机驱动旋转的反射镜使光路折射，所述反射镜平面偏离垂直电机轴一个角度；所述电机带动平面镜旋转时使所述角镜和平面镜光路的光程发生变化实现干涉仪的光程扫描；

所述平面镜和固定所述平面镜的固定装置的重心均位于所述电机转轴上。

2.如权利要求1所述的傅里叶近红外光谱干涉仪，其特征在于，两个平面镜安置在所述分束镜附近，所述分束器位于所述两个平面镜面形成角的角平分线上。

3.如权利要求1所述的傅里叶近红外光谱干涉仪，其特征在于，入射光入射到所述分束镜的分束面后分成两束强度近似相等的分束后第一光线)和分束后第二光线，分束后第一光线照射到旋转镜后反射成经旋转镜后的光线，经空心角镜反射成经角镜后的光线，再经所述旋转镜反射成经旋转镜反射的光线到达等腰棱镜的第一平面反射镜上；

所述等腰棱镜的第一平面反射镜垂直反射，光线再经经旋转镜反射的所述光线，经角镜后的所述光线，经旋转镜后的光线，分束后第一光线原路返回到分束镜的分束面，经分束面再分成两束强度近似相等的光，其中一束光成经分束面分成两束强度近似相等的光中一束经分束镜、补偿镜后的光线；

所述入射光经分束面反射的分束后第二光线，照射到空心角镜反射成分束后第二光线经空心角镜后的光线，到达所述等腰棱镜的另一个反射面，经所述等腰棱镜的第二平面反射镜垂直反射，光线再经分束后所述第二光线经空心角镜后的光线，分束后第二光线原路返回到所述分束镜)的分束面，经分束面再分成两束强度近似相等的光，其中一束光也变成经分束面分成两束强度近似相等的光中一束经分束镜、补偿镜后的光线。

4.如权利要求3所述的傅里叶近红外光谱干涉仪，其特征在于，所述入射光，经分束器分束面分开的两束光最后再经分束面分成两束强度近似相等的光，其中都有一束成为经分束镜、补偿镜后的光线，两束经分束镜、补偿镜后的所述光线在分束器出口后进行相干叠加；

角镜和平面镜对为两对，分别位于动镜和定镜光路；

补偿镜和分束镜均为石英晶体，用于反射光和透射光中通过相等的光程；

旋转镜在电机的带动下产生光程差扫描。

5.如权利要求3所述的傅里叶近红外光谱干涉仪，其特征在于，第一平面反射镜和第二平面反射镜位于分束镜的附近，或用等腰棱镜代替所述第一平面反射镜和所述第二平面反射镜；

所述第一平面反射镜、第二平面反射镜、分束镜和补偿镜组成光学单体。

6.如权利要求5所述的傅里叶近红外光谱干涉仪，其特征在于，所述光学单体或包括：等腰棱镜，顶盖，底座和支撑边通过光学胶粘接成一个稳固的框架结构；分束镜和补偿镜粘接在中间支撑上，通过装配装置下固定到框架结构内，装配装置装配后分束镜的分束面位于所述等腰棱镜的两个反射面夹角的角平分线上。

7.一种搭载权利要求1～6任意一项所述傅里叶近红外光谱干涉仪的用于在线物料检测的仪器，其特征在于，所述用于在线物料检测的仪器上装有窄线宽半导体激光和激光干涉信号检测器，检测激光发出的激光经干涉仪干涉后产生的信号，提供给用于在线物料检测的仪器的控制电子板，控制电子板驱动电机均速转动，进行光程扫描。