[发明专利]基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法

权利要求书

1.一种基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法，其特征是，通过频闪补光提高图像的亮度，获得更为清晰的视频图像，将采集到的视频图像进行偏振降噪处理,增强图像的对比度，通过频闪成像的面内位移算法，计算得到MEMS器件的面内振动位移，最后通过偏振成像技术分析MEMS器件的偏振特性。

2.如权利要求1所述的基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法，其特征是，通过频闪补光提高采集到的图片的亮度具体步骤是，使用VCSEL发光器件提高发光器件的响应速度；利用FPGA和高速MOS管控制VCSEL发光器件，实现高频闪光和高精度脉冲宽度控制，同时增加图像清晰度反馈机制进行频率补偿和矫正，取得单帧图像的高清晰度成像；采用频闪信号和曝光信号同步机制，配合固定相位补偿方法，提升相位延迟精度。

3.如权利要求1所述的基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法，其特征是，将采集到的图像进行偏振降噪处理具体步骤是，利用偏振成像技术区分目标物体和自然背景，为目标检测与识别提供便利，同时，抑制偏振成像针对成像过程中的高亮部分。

4.如权利要求1所述的基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法，其特征是，得到MEMS器件的面内振动位移具体步骤是，将偏振成像与面内振动特性算法相结合，对于面内刚体平动，选定MEMS微结构上一个不变形的区域作为刚体标志，通过模板匹配、特征提取及匹配器算法检测该标志在不同时刻视觉图像中的位置，即可获得被测MEMS微结构运动周期内不同时刻相对于第一时刻的面内位移，利用亚像素定位技术获取MEMS器件的面内振动位移。

5.如权利要求1所述的基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法，其特征是，通过偏振成像技术获得物体表面的偏振特性具体步骤是，偏振光打到MEMS器件上时，由于MEMS器件本身的偏振特性，使得反射偏振光的偏振态发生变化，利用CCD相机采集图片，通过分析计算，得到物体的偏振信息。