[发明专利]掩膜板框架及蒸镀掩膜板组件

权利要求书

1.一种掩膜板框架，具有相背的第一表面和第二表面，其特征在于，所述掩膜板框架包括：

框架本体，具有开口的框式结构体；

支撑体，在所述开口内连接于所述框架本体设置，所述支撑体包括呈阵列分布的蒸镀开口及围绕各所述蒸镀开口分布的支撑单元，所述支撑单元包括支撑部和由所述支撑部向所述蒸镀开口方向延伸形成的贴合部，所述支撑部具有支撑面，所述支撑面位于所述第一表面，所述贴合部具有贴合面，在所述第一表面至所述第二表面的第一方向上所述贴合面相对于所述支撑面下凹与所述支撑面呈台阶分布；

所述贴合部上由所述贴合面向所述第一表面延伸形成的辅助结构，多个所述辅助结构在所述贴合面上环绕所述蒸镀开口间隔分布。

2.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其特征在于，所述第一方向上所述框架本体的厚度与所述支撑部的厚度相同，所述贴合部的厚度小于所述支撑部的厚度。

3.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其特征在于，所述第一方向上所述贴合部的厚度与所述辅助结构的延伸高度之和等于所述支撑部的厚度。

4.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其特征在于，所述辅助结构在与所述第一表面平行的水平方向上、与所述支撑部间隔设置。

5.根据权利要求4所述的掩膜板框架，其特征在于，所述贴合面具有与所述蒸镀开口相邻的第一边缘，所述水平方向上所述辅助结构与所述第一边缘预设距离设置。

6.根据权利要求5所述的掩膜板框架，其特征在于，所述预设距离大于等于2mm。

7.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其特征在于，所述辅助结构为柱状体，所述柱状体的横截面为圆形或多边形。

8.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其特征在于，所述第一方向上所述框架本体的厚度等于所述第一表面和第二表面之间的最小距离。

9.一种蒸镀掩膜板组件，其特征在于，包括，

掩膜板框架，为如权利要求1所述的掩膜板框架；

掩膜条，多个掩膜条排列设置于所述掩膜板框架，所述掩膜条包括在自身长度方向上分别设置于两端的固定结构以及位于所述固定结构之间的蒸镀网膜，所述蒸镀网膜包括阵列排布的多个像素开口；

其中，所述掩膜条通过所述固定结构固定于所述框架本体，所述蒸镀网膜覆盖在所述第一表面上且所述蒸镀网膜自身长度方向上的两侧边与所述支撑部的所述支撑面接触设置。

10.根据权利要求9所述的蒸镀掩膜板组件，其特征在于，所述贴合部上由所述贴合面向所述第一表面延伸形成的辅助结构，多个所述辅助结构在所述贴合面上环绕所述蒸镀开口间隔分布，所述第一方向上所述贴合部的厚度与所述辅助结构的延伸高度之和等于所述支撑部的厚度；

其中，所述蒸镀网膜覆盖在所述第一表面上且所述蒸镀网膜自身长度方向上的两侧边与所述支撑部的所述支撑面以及所述辅助结构位于所述第一表面的辅助支撑面均接触设置。