[发明专利]检测设备及其检测方法

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

第一检测装置，包括：入射模块，用于产生入射至待测物表面的第一探测光，所述第一探测光在所述待测物表面形成第一光斑，所述第一探测光经待测物之后形成第一出射光；出射模块，用于收集所述第一出射光，并根据所述第一出射光获取待测物表面待测膜层的厚度；

第二检测装置，包括：第二光源，用于产生入射至待测物表面的第二探测光，所述第二探测光在所述待测物表面形成第二光斑，所述第二探测光经待测物后形成第二出射光；第二探测组件，用于探测所述第二出射光，并根据第二出射光确定所述待测物的待测区内的应力，所述第二光斑与第一光斑至少部分重合。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述待测区中具有位于所述待测物表面的待测膜层；

所述第二探测模块用于根据所述第二出射光和所述第一检测装置获取的待测膜层的厚度获取所述待测膜层内的应力。

3.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述入射模块包括：第一光源用于产生第一入射光；起偏组件，用于调节所述第一入射光的偏振态，并使所述第一入射光入射至待测物表面形成所述第一探测光；所述出射模块包括：检偏组件，用于调节所述第一出射光的偏振态形成第一信号光；第一探测组件，用于探测所述第一信号光，并根据所述第一信号光获取待测物表面待测膜层的厚度；入射至所述待测物表面的第一探测光与从待测物出射的第一出射光之间具有非零夹角；

所述起偏组件被配置为绕所述第一入射光的传播方向旋转，和/或，所述检偏组件被配置为绕所述第一出射光的传播方向旋转。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，入射至所述待测物表面的第一探测光及自所述待测物出射的第一出射光均位于第一平面内；入射至所述待测物表面的第二探测光及自所述待测物出射的第二出射光均位于第二平面内，所述第一平面与第二平面垂直或具有锐角夹角；所述第二探测光和第二出射光分别位于所述第一平面两侧。

5.根据权利要求1～3任意一项所述的检测设备，其特征在于，还包括：第三检测模块，所述第三检测模块包括：第三光源，用于产生入射至所述待测物表面的第三探测光，所述第三探测光在所述待测物表面形成第三光斑，所述第三探测光经待测物反射形成第三出射光，所述第三出射光用于形成第三信号光，入射至待测物表面的第一探测光与第一出射光分别位于入射至所述待测物表面的第三探测光两侧；第三探测组件，用于探测第三信号光，所述第三光斑与所述第一光斑至少部分重合。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述第一探测光与第一出射光关于入射至所述待测物表面的第三探测光对称。

7.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，入射至所述待测物表面的第一探测光及自所述待测物出射的第一出射光均位于第一平面内；所述第三检测模块还包括第一分束器；

所述第一分束器用于使所述第三光源发射的光束反射后形成所述第三探测光，且使所述第三出射光透射后形成所述第三信号光；或者，所述第一分束器用于使所述第三光源发射的光束透射后形成所述第三探测光，且使所述第三出射光反射后形成所述第三信号光。

8.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括：第四检测模块，所述第四检测模块包括：第四光源、第二分束器和第四探测组件，所述第四光源出射的光束经所述第二分束器反射后形成第四探测光，所述第四探测光经待测物反射形成第四出射光，所述第二分束器还用于使所述第四出射光反射后形成第四信号光，所述第四探测组件用于探测所述第四信号光；所述第二分束器还用于使所述第三出射光透过；

入射至待测物表面的所述第四探测光与所述第三探测光的中心轴平行，所述第四出射光经所述第二分束器反射后的光轴与所述第一平面垂直或具有锐角夹角。