[发明专利]用于长期植入的柔性电极探针及其制备方法、设备

权利要求书

1.一种用于长期植入的柔性电极探针的制备方法，其特征在于，所述方法至少包括：

获取初始柔性电极探针；所述初始柔性电极探针包括弹性绝缘层、第一电极层、弹性阻隔层和第二电极层；所述第一电极层设置于所述弹性绝缘层和所述弹性阻隔层之间，所述第一电极层包括若干电极走线和设置于至少一个所述电极走线端部的电极接触点；所述第二电极层至少设置在所述弹性阻隔层中通孔位置处，所述第二电极层的隐藏部通过所述通孔与所述第一电极层中的所述电极接触点相接触，所述第二电极层的外露部设置在所述弹性阻隔层上；其中，所述第二电极层为阵列结构；且以垂直于所述弹性阻隔层方向为投影方向，所述第二电极层的正投影面积大于所述通孔的轮廓的正投影面积；

至少在所述初始柔性电极探针中所述第二电极层的外露部表面形成导电修饰层；所述导电修饰层的材料包括生物相容性的导电聚合物；

至少在所述导电修饰层表面和所述弹性绝缘层表面形成包药的生物材料保护层，得到用于长期植入的柔性电极探针。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述获取初始柔性电极探针包括：

提供基底，所述基底表面上形成有牺牲衬底；

在所述牺牲衬底表面形成图案化的弹性绝缘层；

在所述弹性绝缘层表面形成电极主体层，图案化所述电极主体层以形成第一电极层；所述第一电极层包括若干电极走线和设置于至少一个所述电极走线端部的电极接触点；

在所述电极走线表面形成弹性阻隔层，所述弹性阻隔层设有与所述电极接触点一一对应的若干通孔；

在所述弹性阻隔层上的所述通孔位置处形成电极坯层，图案化所述电极坯层形成第二电极层；所述第二电极层至少设置在所述弹性阻隔层中所述通孔位置处，所述第二电极层的隐藏部通过所述通孔与所述第一电极层中的所述电极接触点相接触，所述第二电极层的外露部设置在所述弹性阻隔层上；

去除所述牺牲衬底，得到初始柔性电极探针。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述至少在所述初始柔性电极探针中所述第二电极层的外露部表面形成导电修饰层包括：

配置包含至少一种导电聚合物单体和至少一种掺杂物的电解液；

将所述初始柔性电极置于所述电解液中，对所述初始柔性电极中外露的所述第二电极层表面进行电化学沉积；

去除所述初始柔性电极表面经电化学沉积后的多余电解液，在所述第二电极层表面形成预设厚度的导电修饰层。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述导电聚合物单体包括3，4-乙烯二氧噻吩单体，所述掺杂物包括对甲苯磺酸盐；

所述电解液中3，4-乙烯二氧噻吩单体和对甲苯磺酸盐的摩尔比为1:5~1:10。

5.根据权利要求1-4任一所述的制备方法，其特征在于，所述包药的生物材料保护层包括交联的包药蛋白修饰层，所述至少在所述导电修饰层表面和所述弹性绝缘层表面形成包药的生物材料保护层，得到用于长期植入的柔性电极探针包括：

提供蛋白溶液，并制备包含所述蛋白溶液和预设药物的蛋白混合溶液；

利用金属丝固定经导电修饰层修饰的初始柔性电极的方向，并将经金属丝固定后的电极置于所述蛋白混合溶液中；

按照预设提拉速度和预设提拉次数，将电极从所述蛋白混合溶液中提取；

静置预设时间后，在所述导电修饰层和所述弹性绝缘层表面形成生物材料保护层，得到用于长期植入的柔性电极探针。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述在所述导电修饰层和所述弹性绝缘层表面形成生物材料保护层，得到用于长期植入的柔性电极探针包括：

根据预设药物缓释速率，对经静置后的电极探针进行真空水处理，在所述导电修饰层和所述弹性绝缘层表面形成生物材料保护层，得到用于长期植入的柔性电极探针。