[发明专利]光罩箱、保管装置及方法、搬送装置及方法、及曝光装置

说明书

一种光罩箱，能够保管于保管装置，且包括第一箱部和第二箱部，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置成能够相对于第一箱部装拆，并具有与底面相对配置的上表面，第二箱部具有在保持于保管装置时使用的保持部，保持部包括：第一光通过部，在安装于第一箱部的第二箱部位于被保管于保管装置的第一位置时，光通过第一光通过部；和与第一光通过部不同的第二光通过部，在从第一箱部拆下的第二箱部的保持部位于被保持于保管装置的第二位置时，光通过第二光通过部。

本发明申请是国际申请日为2016年1月22日、国际申请号为PCT/JP2016/051805、进入中国国家阶段的国家申请号为201680016449.4、发明名称为“光罩箱、保管装置及方法、搬送装置及方法、及曝光装置”的发明申请的分案申请。

技术领域

本发明是关于收纳光罩的光罩箱、保管光罩的保管技术、搬送被收纳在光罩箱的光罩的搬送技术、使用保管技术或搬送技术的曝光技术、及使用曝光技术的器件制造方法。

背景技术

为了制造例如液晶显示元件等电子器件(微型器件)所使用的曝光装置包括：能将多片光罩以分别被收纳在光罩箱的状态进行保管的光罩收藏室(library)和光罩搬送装置。光罩搬送装置将收纳有使用后光罩的光罩箱从光罩收藏室搬出，并将收纳有在下一次曝光步骤中使用的光罩的光罩箱搬入光罩收藏室。而且，在曝光时，用光罩搬送装置将收纳有下一次使用的光罩的光罩箱从光罩收藏室取出，从该光罩箱将光罩交接至光罩装载系统(光罩载运体(mask carrier))，光罩装载系统将该光罩装载在曝光装置的光罩载台上(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-26286号公报

发明内容

在曝光装置中的包括上述光罩搬送装置、光罩装载系统及光罩收藏室的光罩搬送系统中，为了对光罩载台可靠地搬送光罩而要求防止光罩的搬送不良。此处，所谓光罩的搬送不良，是例如包括光罩的误搬送、搬送系统的停滞/停止、光罩、光罩箱、光罩搬送系统等的破损等。

根据第一方案，提供一种能够保管于保管装置的光罩箱，其包括第一箱部和第二箱部，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置为能够相对于第一箱部装拆且具有与该底面相对配置的上表面，该第二箱部具有在从该第一箱部拆下而保持于该保管装置时使用的保持部，该保持部包括：第一光通过部，在安装于该第一箱部的该第二箱部位于被保管于该保管装置的第一位置时，光通过该第一光通过部；和与该第一光通过部不同的第二光通过部，在从该第一箱部拆下的该第二箱部的该保持部位于被保持于该保管装置的第二位置时，该光通过该第二光通过部。

根据第二方案，提供一种能够保管于保管装置的光罩箱，其包括第一箱部和第二箱部，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置为能够相对于第一箱部装拆且具有与该底面相对配置的上表面，该第二箱部包括在从该第一箱部拆下而被保持时使用的保持部，该保持部具有开口部，该开口部用于在通过该保管装置支承从该第一箱部拆下的该第二箱部时与设置在该保管装置的销部嵌合。

根据第三方案，提供一种光罩箱，其由第一箱部和第二箱部构成，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置为能够相对于第一箱部装拆且具有与该底面相对配置的上表面，该第一箱部在该底面且在与该支承部相对的位置具有使来自外部的光通过的光通过部。

根据第四方案，提供一种收纳形成有图案的光罩的光罩箱，其包括支承该光罩的下箱部和以覆盖被支承在该下箱部的该光罩的方式载置于该下箱部的上箱部，该上箱部具有通过光罩箱用的支承部支承该上箱部的凸缘部，在该凸缘部设有能够使用于检测该上箱部的位置的光束通过的开口。