[发明专利]集尘处理装置

说明书

提供集尘处理装置，在更换过滤器时不使灰尘向周围扩散。一种集尘处理装置，其与干式研磨装置连结，从该干式研磨装置吸引包含灰尘的空气，将该灰尘和该空气分离，其中，该集尘处理装置包含：圆筒状主体，其与该干式研磨装置连结；吸引箱，其配设在该圆筒状主体的上板上；吸引源，其经由通气管道而与该吸引箱连结；过滤器单元，其配设在该圆筒状主体内，包含凸缘部、管以及过滤器，该凸缘部被该圆筒状主体的该上板支承，该管与该凸缘部一体地形成并具有多个细孔，该过滤器以能够装卸的方式外嵌于该管并由水溶性的材质构成；以及水喷射喷嘴，其配设在该吸引箱的内部，向该过滤器单元内喷射水。

技术领域

本发明涉及集尘处理装置。

背景技术

在使用磨削磨具对被加工物进行了磨削加工之后，为了将磨削面的凹凸去除而使用研磨垫对磨削面进行研磨加工。研磨加工具有使用研磨液进行研磨的CMP研磨和干式研磨。

在干式研磨中，由于使研磨垫与被加工物接触而进行研磨，因此产生研磨垫的粉尘和被加工物的粉尘等灰尘。为了将这些灰尘从加工室去除，在研磨装置中附设有专利文献1所公开的那样的集尘处理装置。

该集尘处理装置在内部具有筒状的过滤器，使过滤器捕集灰尘来进行集尘。如果灰尘附着于过滤器，则集尘处理能力降低，因此定期地更换过滤器。

专利文献1：日本特开2004-001118号公报

在上述过滤器的更换中，在从集尘处理装置拔出过滤器时，存在灰尘向周围扩散而使设置有研磨装置和集尘处理装置的空间的内部污染的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供能够在更换过滤器单元时防止设置有研磨装置和集尘处理装置的空间的内部被污染的集尘处理装置。

根据本发明，提供集尘处理装置，其与干式研磨装置连结，从该干式研磨装置吸引包含灰尘的空气，将该灰尘和该空气分离，其中，该集尘处理装置具有：圆筒状主体，其包含圆筒状侧板、上板以及排水接收部，该圆筒状侧板具有从该干式研磨装置吸引的该空气的入口，该上板与该圆筒状侧板的上部连结，该排水接收部与该圆筒状侧板的下部连结并具有排水用开口；吸引箱，其配设在该圆筒状主体的该上板上；吸引源，其经由通气管道而与该吸引箱连结；排水箱，其贮存经由该排水接收部的排水用开口而滴下的排水；过滤器单元，其配设在该圆筒状主体内，包含凸缘部、管以及过滤器，该凸缘部被该圆筒状主体的该上板支承，该管与该凸缘部一体地形成并形成有多个细孔，该过滤器以能够装卸的方式外嵌于该管并由水溶性的材质构成；以及水喷射喷嘴，其配设在该吸引箱的内部，向该过滤器单元内喷射水，在更换该过滤器单元时，能够从该水喷射喷嘴向该过滤器单元的内部喷射水，通过水来溶解该过滤器而将仅成为该凸缘部和该管的该过滤器单元从该圆筒状主体拔出。

根据本发明的集尘处理装置，由于通过流水将过滤器溶解，因此能够使附着于过滤器的侧面的灰尘与过滤器一起从排出口排出。由此，能够防止在更换过滤器单元时设置有研磨装置和集尘处理装置的空间被污染。

附图说明

图1是示出具有集尘处理装置的研磨装置整体的立体图。

图2是过滤器单元的分解立体图。

图3是集尘处理装置的纵剖视图。

标号说明