[发明专利]一种MEMS器件原位实时测试坞及失效故障溯源方法

说明书

本发明涉及MEMS器件，具体是一种MEMS器件原位实时测试坞及失效故障溯源方法。本发明解决了当MEMS器件发生失效故障时无法原位实时地获知引发失效故障的环境应力类型的问题。一种MEMS器件原位实时测试坞，包括测试座板、电池、电源管理芯片、MEMS器件、传感器阵列、模数转换器、微处理器、存储器、无线发射器、无线接收器、上位机；所述传感器阵列包括温湿度传感器、气压传感器、磁场传感器、高度传感器、振动传感器、频率传感器、电压采集器、电流采集器、功率采集器。本发明适用于航空、航天、国防等领域。

技术领域

本发明涉及MEMS器件，具体是一种MEMS器件原位实时测试坞及失效故障溯源方法。

背景技术

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)器件因其具有体积小、重量轻、功耗低的优点，被广泛应用于航空、航天、国防等领域。在实际应用中，MEMS器件的工作环境往往复杂多变，导致MEMS器件容易在环境应力的作用下发生失效故障。而在现有技术条件下，当MEMS器件发生失效故障时，人们无法原位实时地获知引发失效故障的环境应力类型(即哪种环境应力引发了失效故障)，由此无法原位实时地进行失效故障溯源，从而不利于MEMS器件的优化改进。基于此，有必要发明一种MEMS器件原位实时测试坞及失效故障溯源方法，以解决当MEMS器件发生失效故障时无法原位实时地获知引发失效故障的环境应力类型的问题。

发明内容

本发明为了解决当MEMS器件发生失效故障时无法原位实时地获知引发失效故障的环境应力类型的问题，提供了一种MEMS器件原位实时测试坞及失效故障溯源方法。

本发明是采用如下技术方案实现的：

一种MEMS器件原位实时测试坞，包括测试座板、电池、电源管理芯片、MEMS器件、传感器阵列、模数转换器、微处理器、存储器、无线发射器、无线接收器、上位机；

所述传感器阵列包括温湿度传感器、气压传感器、磁场传感器、高度传感器、振动传感器、频率传感器、电压采集器、电流采集器、功率采集器；

电池、电源管理芯片、MEMS器件、温湿度传感器、气压传感器、磁场传感器、高度传感器、振动传感器、频率传感器、电压采集器、电流采集器、功率采集器、模数转换器、微处理器、存储器、无线发射器均固定于测试座板的上表面；

电池的输出端与电源管理芯片的输入端连接；电源管理芯片的输出端分别与MEMS器件的供电端、温湿度传感器的供电端、气压传感器的供电端、磁场传感器的供电端、高度传感器的供电端、振动传感器的供电端、频率传感器的供电端、电压采集器的供电端、电流采集器的供电端、功率采集器的供电端、模数转换器的供电端、微处理器的供电端、存储器的供电端、无线发射器的供电端连接；

MEMS器件的输出端与微处理器的输入端连接；

频率传感器的输入端与MEMS器件的频率输出端连接；电压采集器的输入端、电流采集器的输入端、功率采集器的输入端均与MEMS器件的供电端连接；

温湿度传感器的输出端、气压传感器的输出端、磁场传感器的输出端、高度传感器的输出端、振动传感器的输出端、频率传感器的输出端、电压采集器的输出端、电流采集器的输出端、功率采集器的输出端均通过模数转换器与微处理器的输入端连接；

微处理器的输出端分别与存储器的输入端、无线发射器的输入端连接；

无线发射器的输出端与无线接收器的输入端无线连接；

无线接收器的输出端与上位机的输入端连接。