[发明专利]一种液态金属制备柔性电子/量子线路的方法有效
| 申请号： | 202011041537.4 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112195441B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 刘宜伟;王盛丁;李润伟;范炜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/20;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 液态 金属 制备 柔性 电子 量子 线路 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种液态金属制备柔性电子/量子线路的方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)利用光刻技术在柔性衬底上制备电极，再将柔性衬底沿着电极方向拉伸；柔性衬底的拉伸比例为50％～100％；
(2)采用真空热蒸发在步骤(1)拉伸后的柔性衬底表面沉积液态金属薄膜；所述真空热蒸发时间为1min～5min；
(3)在真空条件下，拉伸后的柔性衬底恢复原长，液态金属薄膜的液态金属球沿拉伸方向排列形成电子线路；或，
在空气条件下，拉伸后的柔性衬底恢复原长，液态金属薄膜的液态金属球沿拉伸方向排列形成量子线路；
所述电子线路或量子线路的线宽为500nm～5μm；所述电子线路和量子线路的线间距为1～3μm。
2.根据权利要求1所述的液态金属制备柔性电子/量子线路的方法，其特征在于，所述柔性衬底包括PDMS、PU、Ecoflex、SEBS中任一种。
3.根据权利要求1所述的液态金属制备柔性电子/量子线路的方法，其特征在于，所述液态金属包括Ga-In-Sn合金、Ga-In合金、Ga中的一种或者多种。
4.一种根据权利要求1～3任一项所述的方法制备的柔性电子/量子线路。
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