[发明专利]一种激光刻蚀光纤端面匀化光斑的方法

权利要求书

1.一种激光刻蚀光纤端面匀化光斑的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将光纤去掉涂覆层，穿过插芯，用光学胶固定，然后利用研磨机将端面研磨成平面；

(2)在光纤端面利用激光刻蚀出图形；

(3)清洗端面。

2.根据权利要求1所述的激光刻蚀光纤端面匀化光斑的方法，其特征在于，步骤(2)中的激光刻蚀是利用脉冲激光在光纤端面上刻蚀出均匀排列图形，再将刻蚀后的光纤浸入腐蚀液中，将烧蚀出的杂质颗粒进行清洁。

3.根据权利要求2所述的激光刻蚀光纤端面匀化光斑的方法，其特征在于，步骤(2)中，所述腐蚀液为浓硫酸和浓硝酸按照体积比1：(1-5)混合，并加热到180-300℃，将刻蚀后的光纤放入腐蚀液中，腐蚀时间为1-10min。

4.根据权利要求2所述的激光刻蚀光纤端面匀化光斑的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，激光刻蚀的激光功率为20～200W。

5.根据权利要求1所述的激光刻蚀光纤端面匀化光斑的方法，其特征在于，步骤(2)中，激光刻蚀的图形为圆形，圆形直径为1-5um，深1-2um，相邻圆形之间的距离为圆形直径的1.5-2倍。

6.根据权利要求1所述的激光刻蚀光纤端面匀化光斑的方法，其特征在于，光纤芯径从100-2000um。