[发明专利]振动器件

权利要求书

1.一种振动器件，其特征在于，具有：

半导体衬底，其具有处于正反关系的第1面和第2面；

集成电路，其设置于所述第1面；

第1端子，其设置于所述第2面，被施加衬底电位；

第2端子，其设置于所述第2面，被施加与所述衬底电位不同的电位；

第1贯通电极，其贯通所述半导体衬底，将所述第1端子与所述集成电路电连接；

第2贯通电极，其贯通所述半导体衬底，将所述第2端子与所述集成电路电连接；

框部，其贯通所述半导体衬底，具有绝缘性；

振动片，其配置于所述第1面；以及

盖，其与所述第1面接合，

所述第1贯通电极位于所述框部的外侧，

所述第2贯通电极位于所述框部的内侧。

2.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

该振动器件具有绝缘膜，该绝缘膜具有通孔，并配置在所述第2面与所述第2端子之间，

所述第2端子经由所述通孔与所述第2贯通电极电连接。

3.根据权利要求2所述的振动器件，其中，

所述通孔的宽度大于所述第2贯通电极的宽度，

在俯视时，所述通孔被所述框部包围，

所述第2端子经由所述通孔与所述半导体衬底的所述框部的内侧区域电连接。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的振动器件，其中，

所述框部具有：

孔，其贯通所述半导体衬底；

绝缘膜，其配置于所述孔的内表面；以及

导电性材料，其被填充在所述孔内。

5.根据权利要求4所述的振动器件，其中，

经由所述第2端子向所述集成电路供给电源，

所述第2贯通电极与所述导电性材料电连接。

6.根据权利要求4所述的振动器件，其中，

经由所述第2端子输出来自所述集成电路的信号，

所述第2贯通电极不与所述导电性材料电连接。

7.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述第2贯通电极的长度大于所述第2贯通电极的宽度。