[发明专利]多波长激光加工装置

权利要求书

1.一种多波长激光加工装置，其特征在于，包括多波长激光器、激光加工系统和激光合束装置；

所述多波长激光器用于发射不同波长的激光；

所述激光加工系统包括振镜组件，所述振镜组件包括扫描振镜和设置在所述扫描振镜上的聚焦镜，所述扫描振镜的扫描镜能够反射多种波长的激光；

所述激光合束装置包括第一棱镜对组件、第二棱镜对组件、第一反射镜、第二反射镜和第一多色合束镜；

所述第一棱镜对组件包括第一棱镜和第二棱镜，所述第一棱镜和所述第二棱镜沿着激光的传导方向依次设置，所述第一棱镜和所述第二棱镜用于供第一种波长的激光经过以对第一种波长的激光进行色散补偿；

所述第二棱镜对组件包括第三棱镜和第四棱镜，所述第三棱镜和所述第四棱镜沿着激光的传导方向依次设置，所述第三棱镜和所述第四棱镜用于供第二种波长的激光经过以对第二种波长的激光进行色散补偿；

所述第一反射镜用于反射色散补偿后的第一种波长的激光，所述第一多色合束镜用于反射色散补偿后的第二种波长的激光，被所述第一反射镜反射且透过所述第一多色合束镜之后的第一种波长的激光和被所述第一多色合束镜反射后的第二种波长的激光在所述第一多色合束镜合束，合束后的两种波长的激光由所述第二反射镜反射进入所述扫描振镜，并经由所述聚焦镜聚焦后加工工件。

2.根据权利要求1所述的多波长激光加工装置，其特征在于，所述激光合束装置还包括第三棱镜对组件和第二多色合束镜，所述第三棱镜对组件包括第五棱镜和第六棱镜，所述第五棱镜和所述第六棱镜沿着激光的传导方向依次设置，所述第五棱镜和所述第六棱镜用于供第三种波长的激光经过以对第三种波长的激光进行色散补偿；

所述第二多色合束镜用于反射色散补偿后的第三种波长的激光，被所述第一多色合束镜合束后且透过所述第二多色合束镜之后的两种波长的激光和被所述第二多色合束镜反射后的第三种波长的激光在所述第二多色合束镜合束，合束后的三种波长的激光由所述第二反射镜反射进入所述扫描振镜，并经由所述聚焦镜聚焦后加工工件。

3.根据权利要求2所述的多波长激光加工装置，其特征在于，所述激光合束装置还包括第一直角镜、第二直角镜和第三直角镜；

所述第一反射镜设置在所述多波长激光器与所述第一棱镜之间的位置，所述第一直角镜设置在所述第二棱镜的背离所述第一棱镜的一侧，所述第一直角镜用于反射依次经过所述第一棱镜和所述第二棱镜的第一种波长的激光使其改变高度后依次经过所述第二棱镜和所述第一棱镜到达所述第一反射镜；

所述第一多色合束镜设置在所述多波长激光器与所述第三棱镜之间的位置，所述第二直角镜设置在所述第四棱镜的背离所述第三棱镜的一侧，所述第二直角镜用于反射依次经过所述第三棱镜和所述第四棱镜的第二种波长的激光使其改变高度后依次经过所述第四棱镜和所述第三棱镜到达所述第一多色合束镜；

所述第二多色合束镜设置在所述多波长激光器与所述第五棱镜之间的位置，所述第三直角镜设置在所述第六棱镜的背离所述第五棱镜的一侧，所述第三直角镜用于反射依次经过所述第五棱镜和所述第六棱镜的第三种波长的激光使其改变高度后依次经过所述第六棱镜和所述第五棱镜到达所述第二多色合束镜。

4.根据权利要求2所述的多波长激光加工装置，其特征在于，所述第一棱镜和所述第二棱镜设置为针对第一种波长的激光的布鲁斯特角；所述第三棱镜和所述第四棱镜设置为针对第二种波长的激光的布鲁斯特角；所述第五棱镜和所述第六棱镜设置为针对第三种波长的激光的布鲁斯特角。

5.根据权利要求2所述的多波长激光加工装置，其特征在于，所述第一种波长的激光为红色光、所述第二种波长的激光为绿色光、所述第三种波长的激光为紫色光，所述第一反射镜为一个单色的红光反射镜；所述第一多色合束镜为一个高头红光高反绿光的多色合束镜；所述第二多色合束镜为一个高透红光和绿光，高反紫光的多色合束镜；所述第二反射镜为一个能反射所有波长激光的反射镜。

6.根据权利要求2所述的多波长激光加工装置，其特征在于，所述多波长激光加工装置还包括能够反射不同波长激光的反射镜组，所述反射镜组用于将所述第二反射镜反射来的激光反射进入所述扫描振镜。