[发明专利]一种芯片清洗干燥装置在审

专利信息
申请号: 202011029438.4 申请日: 2020-09-27
公开(公告)号: CN112151422A 公开(公告)日: 2020-12-29
发明(设计)人: 陈圆圆 申请(专利权)人: 合肥高地创意科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;F26B21/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230041 安徽省合肥市包河*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 清洗 干燥 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片清洗干燥装置,包括主体机构(1)、支撑机构(2)、清洗机构(3)、刷洗机构(4)、干燥机构(5)和废液收集机构(6),其特征在于:

主体机构(1),所述主体机构(1)包括底板(101)、紧固件(102)、箱体(103)、万向自锁轮(104)和连接件(105),且底板(101)的上方设置有箱体(103),所述箱体(103)通过连接件(105)与底板(101)连接,且连接件(105)与紧固件(102)螺纹连接,同时底板(101)的底部对称设置有万向自锁轮(104);

支撑机构(2),所述支撑机构(2)设置在箱体(103)的内部,且支撑机构(2)包括底座(201)、电机(202)、支撑板(203)、活动板(204)、清洗箱(205)、电热丝(206)、电动伸缩杆(207)、连接板(208)和置物板(209),所述底座(201)固定设置在底板(101)的上方,且底座(201)内设置有电机(202),所述电机(202)的输出端与支撑板(203)连接,且电机(202)的前侧设置有活动板(204),同时活动板(204)通过螺丝与底座(201)连接,所述支撑板(203)的上方设置有清洗箱(205),且清洗箱(205)内底部嵌入有电热丝(206),所述清洗箱(205)的内部对称设置有电动伸缩杆(207),且电动伸缩杆(207)分别与清洗箱(205)的左右侧壁连接,同时电动伸缩杆(207)远离清洗箱(205)的一端与连接板(208)固定连接,所述连接板(208)的上方卡合有置物板(209)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片清洗干燥装置,其特征在于:所述电机(202)、支撑板(203)、活动板(204)和清洗箱(205)构成转动结构,且清洗箱(205)与支撑板(203)卡合连接,所述清洗箱(205)通过螺丝与支撑板(203)连接,且清洗箱(205)的右下方连接有排污管。

3.根据权利要求1所述的一种芯片清洗干燥装置,其特征在于:所述清洗箱(205)的内部设置有温度传感器(7),且温度传感器(7)和控制器以及电热丝(206)之间为电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种芯片清洗干燥装置,其特征在于:所述置物板(209)上开设有卡槽(2091),且卡槽(2091)内对称设置有限位板(2094),所述限位板(2094)通过伸缩弹簧(2093)与卡槽(2091)的内侧壁连接,且卡槽(2091)的底部开设有通孔(2092)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片清洗干燥装置,其特征在于:所述清洗机构(3)设置在支撑机构(2)的左侧,且清洗机构(3)包括储液箱(301)、第一液泵(302)、第一进水管道(303)、储液箱盖(304)、第一液压缸(305)、进水口(306)、喷淋头(307)、喷淋管(308)、水箱(309)、第二进水管道(3010)和第二液泵(3011),所述储液箱(301)固定设置在底板(101)的上方,且储液箱(301)内设置有第一液泵(302),且储液箱(301)的顶部卡合有储液箱盖(304),所述储液箱盖(304)的上方设置有第一液压缸(305),且第一液压缸(305)与箱体(103)的左侧内壁固定连接,所述第一液压缸(305)远离箱体(103)的一端与喷淋管(308)连接,且喷淋管(308)的底部设置有喷淋头(307),同时喷淋管(308)通过第一进水管道(303)与第一液泵(302)连接,所述储液箱(301)的后侧设置有水箱(309),且水箱(309)顶部连接有进水口(306)和第二液泵(3011),同时第二液泵(3011)通过第二进水管道(3010)与喷淋管(308)连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片清洗干燥装置,其特征在于:所述刷洗机构(4)设置在支撑机构(2)的上方,且刷洗机构(4)包括第二液压缸(401)、清洁刷(402)、固定架(403)和支撑架(404),所述第二液压缸(401)与箱体(103)的内顶部固定连接,且第二液压缸(401)远离箱体(103)的一端与固定架(403)的顶部连接,所述固定架(403)底部通过支撑架(404)与清洁刷(402)连接。

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