[发明专利]MEMS致动系统在审
| 申请号： | 202011026391.6 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN114326005A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 王桂芹;刘晓蕾 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/09 | 分类号： | G02B7/09;G03B13/36;G03B5/00;G02B7/02 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;韩威威 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 系统 | ||
1.一种多轴MEMS组件，包括：
被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，所述微机电系统(MEMS)致动器包括：
平面内MEMS致动器，和
包括多形态压电致动器的平面外MEMS致动器；
连接到所述平面内MEMS致动器的光电器件；以及
连接到所述平面外MEMS致动器的镜筒组件。
2.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述镜筒组件包括多个分立透镜。
3.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器为图像稳定致动器。
4.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被配置为提供X轴直线移动和Y轴直线移动。
5.根据权利要求4所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被进一步配置为提供Z轴旋转移动。
6.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器为自动对焦致动器。
7.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器被配置为提供Z轴直线移动。
8.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述多形态压电致动器包括弯曲压电致动器。
9.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述多形态压电致动器包括：被配置为贴附于所述镜筒组件的可移动台。
10.根据权利要求9所述的多轴MEMS组件，其中所述多形态压电致动器进一步包括：刚性框架组件。
11.根据权利要求10所述的多轴MEMS组件，其中所述多形态压电致动器进一步包括：被配置为将所述可移动台连接到所述刚性框架组件的至少一个可变形压电部分。
12.根据权利要求10所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器的所述多形态压电致动器的所述刚性框架组件被配置为连接至支撑组件。
13.一种多轴MEMS组件，包括：
被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，所述微机电系统(MEMS)致动器包括：
平面内MEMS致动器，和
包括多形态压电致动器的平面外MEMS致动器；
连接到所述平面内MEMS致动器的光电器件；以及
连接到所述平面外MEMS致动器的镜筒组件；
其中所述平面内MEMS致动器是图像稳定致动器并且所述平面外MEMS致动器是自动对焦致动器。
14.根据权利要求13所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被配置为提供X轴直线移动和Y轴直线移动。
15.根据权利要求14所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被进一步配置为提供Z轴旋转移动。
16.根据权利要求13所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器被配置为提供Z轴直线移动。
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