[发明专利]一种光电焦平面的衬底温度测量方法

权利要求书

1.一种光电焦平面的衬底温度测量方法，用于针对矩形的光电焦平面的衬底进行温度测量，其特征在于，基于光电焦平面的衬底的四个顶角处分别设置一个片上温度传感器，所述方法包括如下步骤：

步骤A：以光电焦平面的衬底中的任一侧边为行坐标轴，与该侧边相邻的一条侧边为列坐标轴，以该两条侧边相交的顶角为原点，构建行列坐标系；

按照预设的行间距将光电焦平面的衬底均分为M行，按照预设的列间距将光电焦平面的衬底均分为N列，进而获取M×N个像元，然后进入步骤B；

步骤B：基于光电焦平面衬底四个顶角的列行坐标分别为(0，0)、(0，M)、(N，0)、(N，M)，以及顶角(0,0)、顶角(0，M)、顶角(N，0)、顶角(N，M)各位置分别所对应片上温度传感器检测的温度值t₁、t₂、t₃、t₄；执行步骤a和步骤b，然后进入步骤C；

步骤a：根据各顶角处片上温度传感器检测的温度值，以及各片上温度传感器所在的顶角对应的行数，构建点坐标(0，t₁)、(M，t₂)、(0，t₃)、(M，t₄)；

对点坐标(0，t₁)、(M，t₂)进行两点拟合，获取行数与温度之间的第一表达式，进而获取光电焦平面衬底第m行的第一温度T_m，0≤m≤M；

对点坐标(0，t₃)、(M，t₄)进行两点拟合，获取行数与温度之间的第二表达式，进而获取光电焦平面衬底第m行的第二温度T'_m；

步骤b：根据各顶角处的片上温度传感器检测的温度值，以及各片上温度传感器所在的顶角对应的列数，构建点坐标(0，t₁)、(0，t₂)、(N，t₃)、(N，t₄)；

对点坐标(0，t₁)、(N，t₃)进行两点拟合，获取列数与温度之间的第一表达式，进而获取光电焦平面衬底第n列的第一温度T_n，0≤n≤N；

对点坐标(0，t₂)、(N，t₄)进行两点拟合，获取列数与温度之间的第二表达式，进而获取光电焦平面衬底第n列的第二温度T′_n；

步骤C：根据T_m、T'_m，按如下公式：

获取光电焦平面的衬底第m行第n列位置像元的第一温度T(sub)₁；其中，i₁、i₂分别为和列数n相关的比例因子，i₁＝n/N,i₂＝(N-n)/N；

根据T_n、T′_n，按如下公式：

获取光电焦平面的衬底第m行第n列位置像元的第二温度T(sub)₂，进入步骤D；其中，j₁、j₂分别为和行数m相关的比例因子，j₁＝m/M,j₂＝(M-m)/M；

步骤D：根据公式：

获取光电焦平面的衬底中第m行第n列像元的温度T(sub)_m,n。