[发明专利]一种干涉仪

说明书

本发明公开一种干涉仪，包括基座，在基座上设置有光源、分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及摆动件；所述分束镜将光源产生的入射光分成透射的第一光束和反射的第二光束；所述第一光束经过第一反射镜反射后被分束镜分为第一反射光和第一透射光；所述第二光束经过第二反射镜反射后被分束镜分为第二反射光和第二透射光；所述第一反射镜和第二反射镜通过固定架设置于摆动件上，所述摆动件初始位置时，第一透射光和第二反射光两者光程相等，当摆动件带动第一反射镜和第二反射镜来回摆动过程中，使得第一透射光和第二反射光两者产生光程差。本发明具有干涉精度高、使用方便的有益效果。

技术领域

本发明涉及光学领域，尤其涉及一种干涉仪。

背景技术

干涉仪是根据光干涉现象制成的一种仪器。光源发出的一束光被分成两束(或多束)，经过不同的路径后再汇合成一束光，在干涉图形检测器中产生干涉图形，光束经过不同路径到达检测器的时间差如果发生改变就会引起干涉图形的改变。光速由光的速率和光的方向构成，现在的干涉仪一般是改变光的相对速率和缩短光程来实现干涉图形的改变，比如流水使水中的光更快到达检测器；移动反光镜使光程缩短等。这些干涉仪对光束方向的微小改变不敏感，从而不能满足对光束微角度变化测量的需要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种干涉精度高、使用方便的干涉仪。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种干涉仪，包括基座，在基座上设置有光源、分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及摆动件；

所述分束镜将光源产生的入射光分成透射的第一光束和反射的第二光束；

所述第一光束经过第一反射镜反射后被分束镜分为第一反射光和第一透射光；

所述第二光束经过第二反射镜反射后被分束镜分为第二反射光和第二透射光；

所述第一反射镜和第二反射镜通过固定架设置于摆动件上，所述摆动件初始位置时，第一透射光和第二反射光两者光程相等，当摆动件带动第一反射镜和第二反射镜来回摆动过程中，使得第一透射光和第二反射光两者产生光程差。

优选的，所述基座上设置有固定座，所述光源、分束镜、第一反射镜、第二反射镜以及摆动件均固设于固定座上。

优选的，所述摆动件包括第一摆臂、第二摆臂以及驱动轴，所述第一反射镜设置于第一摆臂上，所述第二反射镜设置于第二摆臂上，所述驱动轴设置于第一摆臂和第二摆臂两者的连接处。

优选的，所述驱动轴包括转轴、驱动线圈以及驱动磁铁，所述第一摆臂和第二摆臂通过转轴设置于基座上，所述驱动磁铁设置于第一摆臂和第二摆臂两者的连接处上，所述驱动线圈设置于固定座上。

优选的，所述转轴上设置有弹簧轴承。

优选的，所述第一摆臂和第二摆臂凸起形成有固定部，在固定部上设置有用于固定驱动磁铁的U型固定架。所述驱动磁铁设置有多块且所述驱动磁铁分为两组，两组驱动磁铁分别设置于U型固定架的内侧壁上，所述驱动线圈悬空设置于两组驱动磁铁之间。

优选的，所述第一反射镜和第二反射镜均为角镜。

优选的，所述固定座上设置有两安装座，两安装座分别设置于固定座两侧，所述两安装座上分别设置有反光镜。

优选的，所述固定座上设置有第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部上设置有光源，所述第二支撑部上设置有光纤接头。

优选的，所述固定座的中部开设有用于放置分束镜的卡槽，所述分束镜卡设于卡槽内。