[发明专利]一种具备二硅化物热封功能的三轴传感器生产设备

说明书

本发明公开了一种具备二硅化物热封功能的三轴传感器生产设备，涉及电子零件生产技术领域，具体为机架、斜导柱抽芯机构、同步升降机构、冷却板和隔温板，所述机架顶端设置有端座，所述下撑模体顶端设置有斜导柱抽芯机构，所述滑轨一侧设置有冷却板，该一种具备二硅化物热封功能的三轴传感器生产设备，通过设置有斜导柱抽芯机构，上封模体能够向下对准压于下撑模体，上封模装有加热板，在温控机构对热封温度实时监控下完成热封，热封流程结束后T斜度滑块抽芯动作瞬间完成，结构紧凑，动作安全可靠，加工效率高，斜导柱的斜度比移动座后面的斜度小2度的结构设计，避免铲机和移动座合模的时候互相干涉，防止两个加工斜度产生的误差。

技术领域

本发明涉及电子零件生产技术领域，具体为一种具备二硅化物热封功能的三轴传感器生产设备。

背景技术

随着时代的发展，手机在人们日常生活的方方面面都起着非常重要的作用，而在手机的组成部件中，三轴加速度传感器被公认为是如今多数技术例如微信步数心脏的加速器，原件内部是有三个维度来决定加速度的方向，精度非常高，而功耗几乎可以不计，十分强大，这一特性决定了其需要在加工中保持绝对的加工精度，是对产品设计及加工精度的一项严峻考验。

现有的三轴传感器生产设备，常见问题有：受现有制造工艺限制，难以实现对如三轴加速度传感器之类的精细电子零部件实现精确加工，成品过多依赖进口，究其原因主要是由于一方面是单晶硅圆盘对成型温度要求非常高，缺乏对成型温度的监控；另一方面是未对加热成型后的成型膜进行及时冷却，造成在后续转送过程中发生变形，影响后续工序加工精度从而导致成品质量的下降。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种具备二硅化物热封功能的三轴传感器生产设备，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现一种具备二硅化物热封功能的三轴传感器生产设备，包括机架、斜导柱抽芯机构、同步升降机构、冷却板和隔温板，所述机架顶端设置有端座，且端座两侧开设有轨道，所述端座底端设置有动力源，且动力源底端连接有气缸轴，所述气缸轴底端设置有加热板，且加热板底端设置有上封模体，所述上封模体一侧设置有T斜度滑块，且T斜度滑块一侧设置有斜导柱，所述上封模体四周设置有浮动架，且浮动架底端设置有复位弹簧，所述复位弹簧远离浮动架一侧设置有底架，且底架中端开设有下撑模体，所述下撑模体顶端设置有斜导柱抽芯机构，且斜导柱抽芯机构底端设置有工作台，所述工作台四个拐角处设置有固定构件，且固定构件中端开设有支撑杆，所述固定构件顶端一侧设置有温控机构，且固定构件一侧开设有滑槽，所述滑槽底端设置有限位销，且滑槽顶端一侧设置有移动座，所述移动座顶端开设有斜导槽，且移动座顶端设置有夹紧构件，所述工作台中端开设有工件槽，且工件槽底端设置有同步升降机构，所述下撑模体一侧设置有机械臂，所述底架一侧设置有卸料冷却机构，且卸料冷却机构底端固定有筋板，所述筋板顶端设置有滑轨，且滑轨中端一侧开设有滑块，所述滑轨一侧设置有冷却板，且冷却板两端设置有连接端，所述冷却板四周设置有密封圈，且冷却板中端开设有螺旋水道，所述冷却板一侧开设有进水口，且冷却板远离进水口一侧开设有出水口，所述滑块一侧固定有卸料板，且滑块顶端一侧固定有隔温板。

可选的，所述浮动架与端座之间通过轨道相连接，构成活动连接结构，且浮动架通过上封模体与气缸轴相连接，构成传动结构，所述加热板与动力源之间构成电性连接，且加热板与上封模体之间为一体式结构。

可选的，所述上封模体与浮动架之间通过螺栓相连接，构成可拆卸结构，且T斜度滑块与上封模体之间为一体式结构，所述斜导柱与T斜度滑块之间为焊接一体式结构，且斜导柱尺寸与斜导槽开槽尺寸相吻合，所述浮动架与底架之间通过复位弹簧相连接，构成弹性结构。

可选的，所述工作台与固定构件之间为一体式结构，且固定构件中端开设的支撑杆最大下压高度与上封模体与下撑模体合模高度一致。