[发明专利]一种电容器用金属化薄膜及其制作方法在审
| 申请号： | 202011015481.5 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112103082A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 刘加彬 | 申请（专利权）人： | 刘加彬 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33;C23C14/08;C23C14/20;C23C14/24 |
| 代理公司： | 江门市博盈知识产权代理事务所(普通合伙) 44577 | 代理人： | 何办君 |
| 地址： | 130000 吉林省*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电容 器用 金属化 薄膜 及其 制作方法 | ||
1.一种电容器用金属化薄膜，包括基膜层，其特征在于：还包括覆盖于所述基膜层上的铝层、覆盖于所述铝层上的锌层及覆盖于所述锌层上的AL2O3保护层。
2.根据权利要求1所述的电容器用金属化薄膜，其特征在于：所述铝层的重量为所述铝层及锌层总重量的1％～5％。
3.根据权利要求1所述的电容器用金属化薄膜，其特征在于：所述锌层的重量为所述铝层及锌层总重量的95％～99％。
4.一种电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：在真空条件下，先在基膜层上蒸镀一层铝做打底金属，形成铝层；然后在铝层上再蒸镀一层锌，形成锌层；最后在锌层上再蒸镀一层AL2O3保护层。
5.根据权利要求4所述的电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：所述铝层的蒸镀使用铝蒸发源，铝蒸发源采用了氮化硼蒸发舟，将8根或10根铝丝通过送丝机构送到铝舟上熔化，在真空条件下加热到1000℃～1200℃，铝蒸汽镀到基膜上。
6.根据权利要求4所述的电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：所述锌层的蒸镀使用锌蒸发源，锌蒸发源的锌料放在铁槽内，用锌炉加热至600℃～700℃，锌蒸汽通过锌喷嘴，镀到铝层上。
7.根据权利要求4所述的电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：所述AL2O3保护层的蒸镀使用铝蒸发源，铝蒸发源采用了氮化硼蒸发舟，将8根或10根铝丝通过送丝机构送到铝舟上熔化，在真空条件下加热到1000℃～1200℃，在蒸发源上方设置有喷氧气机构，铝蒸汽与喷出来的氧气反应形成AL2O3蒸汽镀到所述锌层上。
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