[发明专利]电子设备

说明书

电子设备。一种电子设备，该电子设备包括：支撑基板；压电层，其设置在支撑基板上；功能元件，其包括设置在压电层的表面上的电极；金属的框体，其以在平面图围绕压电层和功能元件的方式设置在支撑基板上；金属的盖，其以在盖和支撑基板之间形成空间的方式设置在框体上，并将功能元件密封在空间中；以及柱状体，其设置于空间中的支撑基板与盖之间。

相关申请的交叉引用

本申请基于并要求2019年9月26日提交的在先日本专利申请No.2019-175663的优先权，其全部内容通过引用合并于此。

技术领域

本发明的一些方面涉及电子设备。

背景技术

已知一种电子设备，其中设置有盖以在盖和诸如设置在基板上的声波元件之类的功能元件之间形成空间，并且功能元件密封到该空间中(例如，日本专利申请公开No.2013-58911、2014-90340、2014-143640、2016-201780和国际公开小册子No.2009/090895。

发明内容

在金属的盖设置在空间上方的结构中，当将压力施加到盖上时，盖可能会挠曲。盖的挠曲导致盖与功能元件等接触，这可能导致特性劣化。

本公开的目的在于提供一种能够减小盖的挠曲的电子设备。

根据本发明的一个方面，提供了一种电子设备，其包括：支撑基板；压电层，其设置在支撑基板上；功能元件，其包括设置在压电层的表面上的电极；金属的框体，其以在平面图围绕压电层和功能元件的方式设置在支撑基板上；金属的盖，其以在该盖和支撑基板之间形成空间的方式设置在框体上，并将功能元件密封在空间中；以及柱状体，其设置于空间中的支撑基板与盖之间。

在以上配置中，压电层可以具有贯穿该压电层的贯通孔，并且柱状体可以设置于贯通孔中的支撑基板和盖之间。

在以上配置中，柱状体的高度可以大于从支撑基板的上表面到电极的上表面的距离。

在以上配置中，柱状体可以设置为与压电层分离。

在以上配置中，柱状体的一个端面可以与支撑基板接触，并且柱状体的另一端面可以与盖接触。

在以上配置中，压电层可以具有凹部，该凹部的底表面上存在有所述压电层，并且柱状体可以在支撑基板与盖之间设置于凹部中。

在以上配置中，盖可以接地，并且柱状体可以由金属制成并且具有从盖朝向支撑基板变窄的宽度。

在以上配置中，柱状体可以位于盖的框体内部的区域的重心处，并且设置在支撑基板与盖之间。

在以上配置中，支撑基板可以是蓝宝石基板、氧化铝基板、尖晶石基板、石英基板、晶体基板和硅基板中的一种，压电层可以是单晶钽酸锂层和单晶铌酸锂层中的一种，并且功能元件可以是声波元件，该声波元件包括设置在压电层上的、作为电极的叉指电极。

在以上配置中，功能元件可以是压电薄膜谐振器，该压电薄膜谐振器包括将压电层夹在中间的，作为电极的下电极和上电极。

附图说明

图1A是根据第一实施方式的声波设备的截面图，并且图1B是根据第一实施方式的声波设备的平面图；

图2是根据第一实施方式的声波元件的平面图；

图3A是滤波器的电路图，并且图3B是双工器的电路图；

图4A至图4D是例示了根据第一实施方式的制造声波设备的方法的截面图(部分1)；

图5A至图5C是例示了根据第一实施方式的制造声波设备的方法的截面图(部分2)；

图6A是比较例的声波设备的截面图，并且图6B是根据比较例的声波设备的平面图；