[发明专利]一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法

权利要求书

1.一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

高压条件下对单模光纤进行载氢处理；

通过相位掩模法对载氢后的光纤进行曝光刻写，得到光纤光栅；

通过热重生装置对所述光纤光栅进行高温热处理；

对高温热处理后的光纤光栅进行快速淬火冷却处理，得到耐高温光纤布拉格光栅。

2.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述载氢处理时的压力为1Mpa-15Mpa，反应时间为72-144小时。

3.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述曝光刻写时的重复频率设置为20-50HZ，光脉冲能量设置为100-200mJ/Pulse，电压设置为18KV-22KV，曝光脉冲数设置为2000-8000。

4.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述曝光刻写采用准分子激光器实现；所述准分子激光器的输出激光中心波长为248nm。

5.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述高温热处理条件为将光纤光栅以10℃/min的升温速度，从室温升至 900℃，并在900℃保温150min。

6.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述淬火溶剂为水基淬火液；所述水基淬火液为盐水、三硝水溶液或PAG淬火液。

7.根据权利要求6所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述盐水为普通盐溶液；所述三硝水溶液为NaNO₃、KNO₃和NaNO₂的混合溶液。

8.根据权利要求1所述的一种耐高温光纤布拉格光栅制作方法，其特征在于，所述热重生装置包括宽带光源、光环形器、高温管式炉和光谱仪；所述高温管式炉用于对光纤光栅进行加热；所述宽带光源发出的光经过环形器到达光纤光栅；所述光纤光栅反射回去的光再由环形器进入光谱仪；所述光谱仪用于实时扫描光谱观察光纤光栅的擦除与生长情况。