[发明专利]一种电镜液体样品室及其组装方法和安装方法

说明书

本发明涉及一种电镜液体样品室及其组装方法和安装方法，属于透射电镜表征测试领域。本发明公开了一种电镜液体样品室，通过设置双向定位凸起和螺钉孔将金属盒上片和金属盒体下片固定结合形成金属盒体，其中金属盒体下片包括芯片槽、双向定位凸起、螺钉孔和观察孔，金属盒体上片包括芯片槽、螺钉孔、观察孔和外溢胶槽，同时根据固定芯片中的上芯片和下芯片尺寸的不同选择将内溢胶槽设置在不同位置，在液体样品室中通过在金属盒体金属片表面(上片或下片)以及芯片槽底部涂密封胶进行芯片固定以减小液体样品室的厚度，从而改善现有的电镜液体样品室由于金属盒体和橡胶圈的引入导致的液体样品室的厚度增加，进一步提高透射电镜的应用范围以及测试准确度。

技术领域

本发明属于透射电镜表征测试领域领域，具体涉及一种电镜液体样品室、一种电镜液体样品室的组装方法及其一种电镜液体样品室的安装方法。

背景技术

电子显微镜(电镜，包括透射电镜和扫描电镜)以其高超的空间分辨率和综合分析能力成为先进材料研究中普遍使用的高端仪器装备；然而电镜通常在高真空下工作，而材料的制造和使用却又常常涉及到液体环境，因此导致传统电镜技术难以对液体中的材料进行分析。原位液体室透射电镜技术突破了这一障碍，使其可在液体中观察样品结构、化学反应过程等，对于研究反应原理及控制反应过程具有极为重要的意义，故在国际上引起广泛关注。

目前主流的原位液体室包括如下三大类：(1)石墨烯薄膜液体室；(2)用带有薄膜窗口的芯片直接用密封胶粘接组装的液体室；(3)金属盒体加薄膜窗口芯片用橡胶圈进行密封的液体室。其中上述三类液体室中第一类制备相对困难，并且对电镜的要求很高；第二类在粘接时由于难以避免由于密封胶接触窗口芯片间的液体样品而导致的样品污染，并且因为芯片本身的脆性，给液体室结构改进增加附加功能等带来困难。因此目前市场上的原位液体室透射电镜产品采用的都是第三类技术。

然而由于透射电镜样品空间非常狭小，引入金属盒体和橡胶圈会增加液体室的厚度，从而给液体室的电镜适配性以及电镜本身功能的应用带来了很大障碍，因此需要研究新的技术方案使其能够使液体室厚度减小，从而为原位液体室的安全使用以及电镜分析功能的充分利用提供重要帮助。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的之一在于提供一种电镜液体样品室；本发明的目的之二在于提供一种电镜液体样品室的组装方法；本发明的目的之三在于提供一种电镜液体样品室的安装方法。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

1.一种电镜液体样品室，所述液体样品室包括金属盒体，所述金属盒体包括通过双向定位凸起3和密封胶固定的金属盒体下片和金属盒体上片，金属盒体上设置有内溢胶槽2和外溢胶槽6；

所述金属盒体下片包括芯片槽1、双向定位凸起3和观察孔5，所述金属盒体上片包括芯片槽1、观察孔5和外溢胶槽6；

在液体样品室中通过在芯片槽底部涂密封胶进行芯片固定。

优选的，当芯片槽中固定的芯片中上芯片和下芯片尺寸相同时，在所述金属盒体下片上设置内溢胶槽2。

当芯片槽中固定的芯片中下芯片尺寸大于上芯片时，在所述金属盒体上片上设置内溢胶槽2。

优选的，所述芯片放入芯片槽后的高度不高于金属盒体的上表面。

优选的，所述密封胶为环氧树脂、502胶、Torr seal、玻璃胶、AB胶、硅胶、丙烯酸密封胶、super glue、聚酰亚胺、聚氨酯密封胶、聚酯、尼龙、涤纶树脂、酚醛树脂或耐高温真空密封胶中的任意一种或几种。

优选的，金属盒体上片和金属盒体下片还包括螺钉孔4，所述螺钉孔4均匀分布在所述金属盒体上片和金属盒体下片的四周空白处。

优选的，所述金属盒体上片和金属盒体下片固定结合形成金属盒体后所述金属盒体上片和金属盒体下片的螺钉孔位置能完全重合。