[发明专利]一种微动光学平台

说明书

本发明属于微动光学平台技术领域，公开了一种微动光学平台，三爪柔铰的爪端部和基座分别固定在第一和第二基板上，第一直线驱动器固定在第一基板上且其伸缩端部通过两自由度柔铰固定在第二基板上；第三基板包括：外框板、光学元件安装板以及外置柔性杆组件；光学元件安装板嵌于外框板内，且其边沿通过多个外置柔性杆组件与外框板相连；第二直线驱动器固定在第二基板上，且其伸缩端部与光学元件安装板连接；平动柔铰的两端分别与第二基板和外框板连接，第三和第四直线驱动器分别固定在外框板上，且二者的伸缩端部分别抵靠在外置柔性杆组件上。本发明能够避免润滑介质的流动和挥发以及磨损尘屑污染和破坏高洁净度光学环境和精密光学器件的问题。

技术领域

本发明涉及微动光学平台技术领域，特别涉及一种微动光学平台。

背景技术

在光电子行业、激光物理研究领域的基础实验中，用于调整精密光学部件的空间位置的微动光学平台需要具备R_X和R_Y两个维度的旋转自由度以及D_X、D_y和D_Z三个维度的平移自由度的微调功能。但是，现有的微动光学平台基本通过刚性机构构建五个自由度的传动链，由于集成了多组刚性导向和驱动机构，平台的外形体积和重量较大；同时采用刚性机构的平台传动链需要润滑并存在构件磨损，其润滑介质的流动和挥发以及磨损尘屑容易污染和破坏高洁净度光学环境和精密光学器件。

发明内容

本发明提供一种微动光学平台，解决现有技术中微动光学平台的润滑介质的流动和挥发以及磨损尘屑污染和破坏高洁净度光学环境和精密光学器件的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种微动光学平台，包括：第一基板、第二基板、第三基板、三爪柔铰、第一直线驱动器、两自由度柔铰、第二直线驱动器、平动柔铰、第三直线驱动器和第四直线驱动器；

所述第一基板、所述第二基板以及所述第三基板在厚度方向上平行布置；

所述三爪柔铰的爪端部和基座分别固定在所述第一基板和所述第二基板上，所述第一直线驱动器固定在所述第一基板上且所述第一直线驱动器的伸缩端部通过所述两自由度柔铰固定在所述第二基板上；

所述第三基板包括：外框板、光学元件安装板以及外置柔性杆组件；

所述光学元件安装板嵌于所述外框板内，且所述光学元件安装板的边沿通过多个所述外置柔性杆组件与所述外框板相连；

所述第二直线驱动器固定在第二基板上，且所述第二直线驱动器的伸缩端部与所述光学元件安装板连接；

所述平动柔铰的两端分别与所述第二基板和外框板连接，所述第三直线驱动器和所述第四直线驱动器分别固定在所述外框板上，且所述第三直线驱动器的伸缩端部和所述第四直线驱动器的伸缩端部分别抵靠在所述外置柔性杆组件上；

其中，所述第三直线驱动器和所述第四直线驱动器的动作方向相互垂直。

进一步地，所述第一直线驱动器以及所述两自由度柔铰的数量均为两个，且两个所述第一直线驱动器关于所述光学元件安装板的中轴线对称布置。

进一步地，所述第二直线驱动器的伸缩端部固定在所述第二基板的几何中心处。

进一步地，所述的平动柔铰的数量为四件，四件所述平动柔铰均布在所述外框板上。

进一步地，所述第三直线驱动器和所述第四直线驱动器的数量均为两个；

两个所述第三直线驱动器的伸缩行程位于同一直线上，且两个所述第三直线驱动器对称布置在所述光学元件安装板两侧；

两个所述第三直线驱动器的伸缩行程位于同一直线上，且两个所述第三直线驱动器对称布置在所述光学元件安装板两侧。