[发明专利]一种气浮轴承的振动偏移检测装置

说明书

本发明公开了一种气浮轴承的振动偏移检测装置，包括基座，基座上设有用于固定气浮轴承的内轴套的三爪定位盘，所述基座上设有气浮轴承驱动机构，所述气浮轴承驱动机构包括设置在基座上的固位架，所述固位架上设有竖直向下的伸缩气缸，所述伸缩气缸的伸缩端设有升降架，所述升降架设有竖直向上的限位滑杆，所以升降架上设有与气浮轴承同轴心设置的转动轴，所述转动轴的底端设有用于与气浮轴承的外轴圈表面相抵触的定位管；所述基座上设有多个用于检测气浮轴承的横向振动偏移检测机构和竖向振动偏移检测机构。本发明能够能够同时对气浮轴承的横向振动偏移度和竖向振动偏移度进行检测，使得检测的效果较好，能充分全面的反应气浮轴承振动特性。

技术领域

本发明涉及轴承制造技术领域，特别涉及一种气浮轴承的振动偏移检测装置。

背景技术

气浮轴承因具有精度高、无摩擦、无磨损、无需保养、环境适应能力强、低速时不出现爬行和滞后等卓越性能而广泛应用于微电子制造及其测量领域。通过优化结构参数及相应的位置伺服控制系统，目前气浮平台的定位精度已经达到纳米级，最大加速度超过10g，行程大于1000mm，满足诸多微电子制造及其测量设备对运动定位载体的要求。受节流形式、气膜厚度、预载方式、几何形状、加工精度、供气压力及工况等诸多因素的影响，气浮轴承内的压力气体在极短时间内流动状态发生多次变化，气膜间隙内的压力波动使气体轴承产生振幅从几纳米到几十纳米，频率从几十赫兹到几千赫兹的宽频微幅自激振动。与运动方向垂直的振动分量影响加工和测量精度，沿运动方向的振动分量影响进给精度和定位精度。气浮轴承轴承加工完成后，需要检测轴承各零件之间的配合情况，如果零件之间配合有问题，就会产生异常的振动。而现有的气浮轴承的振动偏移检测装置不能同时对横向振动偏移度和竖向振动偏移度进行检测，使得检测的效果较差，不能充分全面的反应气浮轴承振动特性，不能起到气浮平台的精度以及理论分析的实验验证。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种气浮轴承的振动偏移检测装置。本发明能够同时对气浮轴承的横向振动偏移度和竖向振动偏移度进行检测，使得检测的效果较好，能充分全面的反应气浮轴承振动特性。

本发明的技术方案：一种气浮轴承的振动偏移检测装置，包括基座，基座上设有用于固定气浮轴承的内轴套的三爪定位盘，所述基座上设有气浮轴承驱动机构，所述气浮轴承驱动机构包括设置在基座上的固位架，所述固位架上设有竖直向下的伸缩气缸，所述伸缩气缸的伸缩端设有升降架，所述升降架设有竖直向上的限位滑杆，所述固位架上设有与限位滑杆配合的限位滑套，所以升降架上设有与气浮轴承同轴心设置的转动轴，所述转动轴的底端设有用于与气浮轴承的外轴圈表面相抵触的定位管；所述基座上设有多个用于检测气浮轴承的横向振动偏移检测机构和竖向振动偏移检测机构，所述基座上设有与转动轴传动连接的第一调速电机，所述基座上设有用于驱动三爪定位盘转动的第二调速电机。

前述的气浮轴承的振动偏移检测装置中，所述横向振动偏移检测机构包括设置在基座上的第一定位架，所述第一定位架的顶部设有横向的且朝向气浮轴承的外轴圈的第一定位套筒，所述第一定位套筒内设有横向振动检测探头，所述横向振动检测探头包括设置在第一定位套筒内的第一定位壳体，所述第一定位壳体内设有朝向气浮轴承的外轴圈的第一伸缩腔，所述第一伸缩腔内设有带有第一滑块的第一位移传感器，所述第一滑块上设有伸出第一伸缩腔外的且端部与气浮轴承的外轴圈外侧接触的第一检测杆，所述第一滑块与第一伸缩腔的内侧端之间设有第一复位弹簧，所述第一定位套筒上设有用于固定第一定位壳体的第一定位螺栓。