[发明专利]一种通过间距性超微细激光通孔实现超薄工件分离的方法

权利要求书

1.一种通过间距性超微细激光通孔实现超薄工件分离的方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）采用激光器产生若干激光束，经光学整型聚焦后产生打孔光束，其具有预设的焦深,所述打孔光束的单点能量范围为40μJ～200μJ；

2）将打孔光束射入超薄工件，并使若干焦点从超薄工件的第一表面沿第一方向排列至第二表面，对超薄工件加工产生小孔，若干个小孔沿第一方向依次连通构成激光通孔，则在超薄工件上形成贯通第一表面和第二表面的激光通孔，激光通孔直径范围为0.1-5um；

3）控制超薄工件相对打孔光束沿第二方向移动，移动路线为直线或曲线，则若干激光通孔依次相接将超薄工件划分成第一工件和第二工件，相邻激光通孔的间距范围为0.1-5um；

4）施加外力作用于超薄工件，使得相邻激光通孔的对接面分开，第一工件和第二工件完全分离。

2.如权利要求1所述的一种通过间距性超微细激光通孔实现超薄工件分离的方法，其特征在于，所述超薄工件的厚度为0.05毫米-0.15毫米。

3.如权利要求1所述的一种通过间距性超微细激光通孔实现超薄工件分离的方法，其特征在于，所述打孔光束中，能量分布为沿第一方向逐渐减小，所述激光通孔的内径为沿第一方向逐渐减小。

4.如权利要求1所述的一种通过间距性超微细激光通孔实现超薄工件分离的方法，其特征在于，所述焦点在超薄工件上形成的光斑的直径范围为0.5微米～5微米。

5.如权利要求1所述的一种通过间距性超微细激光通孔实现超薄工件分离的方法，其特征在于，所述激光器的脉冲宽度范围为10飞秒～100皮秒。

6.如权利要求1所述的一种通过间距性超微细激光通孔实现超薄工件分离的方法，其特征在于，所述超薄工件的材质为非石英玻璃、石英玻璃、钽酸锂、铌酸锂或透光的三五族材料。

7.如权利要求1所述的一种通过间距性超微细激光通孔实现超薄工件分离的方法，其特征在于，步骤4）中，先在超薄工件的第一表面或第二表面贴膜，再用扩膜机进行扩膜，从而将第一工件和第二工件完全分离。