[发明专利]一种柔性薄膜太阳电池背电极及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性薄膜太阳电池背电极制备方法，其特征在于，所述柔性薄膜太阳电池背电极包含能够有效阻挡不锈钢衬底中有害元素扩散的氮化铝、氮化钛薄膜；通过晶格常数材料的渐变过渡，实现各层薄膜中应力的有效释放，使得基于卷对卷工艺制备的该复合结构背电极不存在裂纹，制备得到的太阳电池串联电阻小，提升薄膜太阳电池的光电转换效率；所述制备方法至少包括如下步骤：

S1、选取厚度为50微米，幅宽为30厘米，长度为200米的不锈钢衬底，并进行清洁；所述不锈钢衬底的型号为SUS304或SUS430；

S2、采用卷对卷连续镀膜工艺，在不锈钢衬底上采用射频磁控溅射的方法镀100nm～150nm的氮化铝薄膜；

S3、采用直流磁控溅射的方法镀100nm～150nm的氮化钛薄膜；

S4、采用直流磁控溅射的方法镀100nm的金属钛薄膜；

S5、采用直流磁控溅射的方法镀50nm的钼薄膜。

2.一种柔性薄膜太阳电池背电极，其特征在于，由权利要求1所述柔性薄膜太阳电池背电极制备方法制备而成。