[发明专利]一种压电微泵支承结构及气体控制装置

权利要求书

1.一种压电微泵支承结构，其特征在于，包括：

压电微泵，所述压电微泵包括共振板(1)、压电振子(2)和电极组件(3)，所述共振板(1)和压电振子(2)依次层叠设置，所述压电振子(2)的远离所述共振板(1)的一侧连接有电极组件(3)；

底板(4)，所述底板(4)与所述压电微泵的远离所述共振板(1)的一侧连接且两者之间间隙形成进气腔(42)，所述底板(4)对所述压电微泵进行支撑和约束。

2.根据权利要求1所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述底板(4)通过与所述电极组件(3)连接以支承所述压电微泵。

3.根据权利要求2所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述电极组件(3)上形成有两个电极(32，33)，两个电极(32，33)分别与所述压电振子(2)的两个导电电极(222，223)固定连接，两个电极(32，33)之间彼此绝缘。

4.根据权利要求3所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述压电振子(2)包括层叠设置的振动板(21)和压电元件(22)，所述压电元件(22)被配置为翻边式，所述压电元件(22)包括基体(221)，所述压电元件(22)的两个导电电极(222，223)延伸至位于所述基体(221)的同一面上，以与所述电极组件(3)的两个电极(32，33)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述基体(221)的中部形成有通孔(2211)，一个所述导电电极从基体(221)的第一面自所述通孔(2211)或所述基体(221)的外边缘翻边至所述基体(221)的第二面，另一个所述导电电极被配置在所述基体(221)的第二面，两个所述导电电极(222，223)之间绝缘配合。

6.根据权利要求5所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，两个所述导电电极(222，223)在所述基体(221)的第二面上呈同轴圆环配合，所述电极组件(3)上的两个电极(32，33)也呈同轴圆环设置在电极板(31)上；或者，翻边设置的所述导电电极的中心点偏离轴心，所述电极组件(3)包括绝缘层(34)和两个电极(32，33)，绝缘层(34)层叠在压电元件(22)和两个电极(32，33)之间，所述绝缘层(34)上开有两个避让孔(342)，两个所述电极(32，33)的连接端分别穿过两个避让孔(342)与两个导电电极(222，223)电连接。

7.根据权利要求1所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述底板(4)通过支撑件(6)与所述压电微泵连接以支承所述压电微泵，所述压电微泵、支撑件(6)和底板(4)之间形成进气腔。

8.根据权利要求7所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述支撑件(6)位于所述电极组件(3)的内周，所述支撑件(6)的第一面与所述压电振子(2)之间形成有第一凸起(7)，所述支撑件(6)的第二面与所述底板(4)之间形成有第二凸起(43)，所述第一凸起(7)和所述第二凸起(43)的尺寸不同。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述共振板(1)的远离所述压电振子(2)的端面外周部上形成有凸起(12)，所述凸起(12)内周的形成凹陷部(13)。

10.根据权利要求9所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述共振板(1)或其上的凸起(12)通过连接部(11)与压电振子(2)连接，所述连接部(11)为弹性连接部，所述连接部(11)与所述压电振子(2)的任意位置连接；或者，所述连接部(11)为刚性连接部，所述连接部(11)与所述压电振子(2)的波节或波节附近无振动或振动很小的位置连接。

11.根据权利要求10所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述连接部(11)上分布有出气孔(1112)，所述压电振子(2)上设置有进气孔，所述进气孔对应所述凹陷部(13)。