[发明专利]—种具有除尘功能的集成电路生产设备

权利要求书

1.一 种具有除尘功能的集成电路生产设备，包括主体仓(7)，其特征在于：所述主体仓(7)内部的中心位置处安装有安装柱(16)，且安装柱(16)外侧的顶部和底部共同安装有轴承(15)，所述轴承(15)的外侧共同安装有安装管(17)，所述安装管(17)的外侧设置有固定组件(8)，所述安装管(17)外侧的底部安装有转动盘(5)，且转动盘(5)顶部的边缘位置处均匀开设有八组U型槽(4)，所述主体仓(7)内侧的底部安装有固定组件(8)，所述转动盘(5)底部的边缘位置处均匀安装有四组与限位环(18)相互配合的第二滚轮(12)，所述安装管(17)外侧的底部安装有从动齿轮(3)，所述主体仓(7)的内底部安装有伺服电机(14)，且伺服电机(14)的输出端安装有与从动齿轮(3)相互啮合的主动齿轮(13)，所述主体仓(7)顶部的两端对称安装有电动升降杆(9)，所述电动升降杆(9)的输出端共同安装有安装架(10)，且安装架(10)的底部均匀安装有集成电路加工组件(11)，所述主体仓(7)顶部靠近中心的位置处设置有除尘组件(1)，所述主体仓(7)的顶部和外侧共同开设有开口(6)，所述主体仓(7)的外侧安装有控制面板(2)，所述控制面板(2)通过导线分别与电动升降杆(9)和伺服电机(14)电连接；

所述固定组件(8)包括弧形板(801)、滚轮槽(802)、滑块(803)、安装座(804)、限位槽(805)、固定框(806)、安装杆(807)、限位块(808)、弹簧(809)、连接杆(810)、第一滚轮(811)、滑槽(812)、铰接杆(813)和水平滑动板(814)，所述安装管(17) 的外侧均匀开设有滑槽(812)，且滑槽(812)的内底部安装有弹簧(809)，所述弹簧(809)的顶端安装有滑块(803)，所述滑块(803)的外侧安装有安装座(804)，且安装座(804)的底端安装有连接杆(810)，所述安装座(804)的顶端安装有第一滚轮(811)，所述主体仓(7)内顶部非圆心的位置处安装有弧形板(801)，且弧形板(801)的底部开设有与第一滚轮(811)相互配合的滚轮槽(802)，所述安装管(17)外侧的底部均匀铰接有安装杆(807)，所述安装杆(807)的顶部开设有限位槽(805)，且限位槽(805)的内部设置有限位块(808)，所述连接杆(810)的底端与对应限位块(808)的顶部铰接，所述安装杆(807)远离安装管(17)的一端安装有与U型槽(4)相互配合的固定框(806)，所述U型槽(4)的内侧设置有水平滑动板(814)，所述安装杆(807)的底部铰接有铰接杆(813)，且铰接杆(813)的底端与水平滑动板(814)的顶部铰接；

所述除尘组件(1)包括抽气泵(101)、过滤仓(102)、导管(103)、过滤网(104)、安装罩(105)和连接架(106)，所述主体仓(7)顶部的中心位置处安装有过滤仓(102)，且过滤仓(102)的内部设置有两组过滤网(104)，所述过滤仓(102)一侧的底部安装有两组导管(103)，所述主体仓(7)的顶部安装有抽气泵(101)，且抽气泵(101)的输入端与过滤仓(102)的顶部连通，所述安装架(10)底部的两端安装有连接架(106)，所述连接架(106)的底端安装有安装罩(105)，所述导管(103)远离过滤仓(102)的一端与安装罩(105)的内顶部连通，所述控制面板(2)通过导线与抽气泵(101) 电连接。

2.根据权利要求1所述的一 种具有除尘功能的集成电路生产设备，其特征在于：所述安装管(17)外侧的底部共铰接有八组安装杆(807)，且相邻安装杆(807)之间的夹角皆为45°。

3.根据权利要求1所述的一 种具有除尘功能的集成电路生产设备，其特征在于：所述主体仓(7)底部的边缘位置处均匀安装有三组支撑柱，且支撑柱的底端安装有垫板。

4.根据权利要求1所述的一 种具有除尘功能的集成电路生产设备，其特征在于：所述安装架(10)的形状呈圆环状结构，且安装架(10)靠近开口(6)的位置处设置有缺口。

5.根据权利要求1所述的一 种具有除尘功能的集成电路生产设备，其特征在于：所述主体仓(7)的外侧均匀设置有三组观察窗。