[发明专利]一种具有除泡功能的集成电路制作设备

权利要求书

1.一种具有除泡功能的集成电路制作设备，包括箱体（1）和点胶管（2），所述箱体（1）的形状为长方体，所述点胶管（2）竖向设置在箱体（1）的下方，所述点胶管（2）上设有执行装置，其特征在于，所述箱体（1）内使用除泡机构和辅助机构；

所述除泡机构包括驱动电机（3）、固定管（4）、螺杆（5）、传动轴（6）和两个除泡组件，所述驱动电机（3）设置在箱体（1）的上方且与箱体（1）固定连接，所述固定管（4）与点胶管（2）同轴设置，所述固定管（4）位于箱体（1）内且与箱体（1）的内壁固定连接，所述箱体（1）内的底部和箱体（1）内的顶部均与固定管（4）之间设有间隙，所述传动轴（6）和螺杆（5）均与固定管（4）同轴设置，所述螺杆（5）设置在固定管（4）内切与固定管（4）匹配，所述驱动电机（3）与传动轴（6）的顶端传动连接，所述传动轴（6）固定在螺杆（5）的底端且位于固定管（4）的下方，所述除泡组件以传动轴（6）的轴线为中心周向均匀分布在传动轴（6）上；

所述除泡组件包括连接杆（7）、连接块（8）、扭转弹簧（9）、敲击杆（10）和固定块（11），所述固定块（11）固定在箱体（1）内的底部，所述连接杆（7）的轴线与传动轴（6）的轴线垂直且相交，所述连接杆（7）位于固定块（11）的上方，所述连接杆（7）的一端固定在传动轴（6）上，所述连接块（8）固定在连接杆（7）的另一端，所述敲击杆（10）与传动轴（6）平行，所述敲击杆（10）上使用通孔，所述连接杆（7）穿过通孔且与通孔的内壁滑动连接，所述敲击杆（10）分别于连接块（8）和固定块（11）抵靠，所述扭转弹簧（9）位于敲击杆（10）和传动轴（6）之间，所述敲击杆（10）通过扭转弹簧（9）与传动轴（6）连接；

所述辅助机构包括连接管（12）、密封环（13）、转动杆（14）、固定锥齿轮（15）、筛网（16）和两个辅助组件，所述连接管（12）和密封环（13）均与点胶管（2）同轴设置，所述箱体（1）的底部设有圆孔，所述连接管（12）的顶端插入圆孔内，所述连接管（12）与圆孔的内壁密封且固定连接，所述密封环（13）与连接管（12）的底端密封且固定连接，所述点胶管（2）的顶端插入密封环（13）的环孔，所述点胶管（2）与密封环（13）环孔的内壁密封且固定连接，所述筛网（16）安装在连接管（12）内切位于传动轴（6）和点胶管（2）之间，所述转动杆（14）位于传动轴（6）和筛网（16）之间且与连接杆（7）平行，所述转动杆（14）的中端固定在传动轴（6）的底端，所述传动轴（6）穿过固定锥齿轮（15）且与固定锥齿轮（15）之间设有间隙，所述固定锥齿轮（15）与箱体（1）的内壁固定连接，所述辅助组件与连接杆（7）一一对应；

所述辅助组件包括转动锥齿轮（17）、轴承（18）和辅助管（19），所述辅助管（19）与转动杆（14）同轴设置，所述轴承（18）的外圈安装在辅助管（19）的内壁上，所述轴承（18）的内圈安装在转动杆（14）上，所述辅助管（19）与筛网（16）抵靠。

2.如权利要求1所述的具有除泡功能的集成电路制作设备，其特征在于，所述驱动电机（3）为伺服电机。

3.如权利要求1所述的具有除泡功能的集成电路制作设备，其特征在于，所述连接杆（7）的两端均设有倒角。

4.如权利要求1所述的具有除泡功能的集成电路制作设备，其特征在于，所述箱体（1）上设有防腐镀锌层。

5.如权利要求1所述的具有除泡功能的集成电路制作设备，其特征在于，所述箱体（1）的顶部设有两个光伏板（20），所述光伏板（20）与连接杆（7）一一对应。

6.如权利要求1所述的具有除泡功能的集成电路制作设备，其特征在于，所述箱体（1）两侧均设有吸音板（21）。

7.如权利要求1所述的具有除泡功能的集成电路制作设备，其特征在于，所述箱体（1）上设有天线和PLC，所述驱动电机（3）和天线均与PLC电连接。

8.如权利要求1所述的具有除泡功能的集成电路制作设备，其特征在于，所述辅助管（19）的外壁设有防滑纹。