[发明专利]一种全固态快速响应电致变色器件及其制备方法

权利要求书

1.一种全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，包括衬底，以及依次设置于所述衬底上的第一导电层、电致变色层、离子传导层、离子存储层、第二导电层；其中，所述电致变色层直至所述离子存储层的面的堆叠为凹凸不平的。

2.如权利要求1所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，还包括：第一过渡层；所述第一过渡层位于所述电致变色层与所述第一导电层之间，所述第一过渡层为平整的或凹凸不平的导电膜层。

3.如权利要求1所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，还包括：第二过渡层，所述第二过渡层位于所述离子存储层内，所述第二过渡层为凹凸不平的导电膜层。

4.如权利要求3所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，所述第一过渡层和所述第二过渡层选自以下材料的一种或多种：银、铝、铜、镍铬合金。

5.如权利要求2所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，所述第一过渡层为网状导电膜层，所述电致变色层与所述第一导电层之间包括接触界面。

6.如权利要求5所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，所述电致变色层与所述第一导电层之间的过渡层在所述第一导电层上的覆盖率为15至80％。

7.如权利要求3所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，所述第二过渡层为网状导电膜层，所述离子存储层包括第一离子存储层和第二离子存储层，所述第一离子存储层与所述第二离子存储层之间包括接触界面。

8.如权利要求7所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，所述第二过渡层在所述第一离子存储层上的覆盖率为3至60％。

9.如权利要求1所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，所述电致变色层中包括阴极着色材料，所述离子存储层中包括阳极着色材料。

10.如权利要求9所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，所述阴极着色材料选自以下材料中的至少一种：氮氧化钨、氮氧化钼、氮氧化铌、氮氧化钛、氮氧化钽；所述阳极着色材料选自以下材料中的至少一种：氮氧化镍、氮氧化铱、氮氧化锰、氮氧化钴、氮氧化钨镍、氮氧化钨铱、氮氧化钨锰、氮氧化钨钴。

11.如权利要求1所述的全固态快速响应电致变色器件，其特征在于，所述衬底为曲面衬底。

12.一种全固态快速响应电致变色器件的制备方法，其特征在于，包括：

在隔离外界空气的情况下，在第一导电层上形成第一过渡层；

将第一靶材以惰性气体掺杂反应气进行反应溅射，在所述第一过渡层上形成第一电致变色层，以所述惰性气体对所述第一电致变色层进行等离子刻蚀；将所述第一靶材以所述惰性气体掺杂所述反应气进行反应溅射，在所述第一电致变色层上形成第二电致变色层；

在所述第二电致变色层上形成离子传导层；

将第二靶材以所述惰性气体掺杂所述反应气进行反应溅射，在所述离子传导层上形成离子存储层；

在所述离子存储层上形成第二导电层；

所述反应气为氧气。

13.如权利要求12所述的全固态快速响应电致变色器件的制备方法，其特征在于，所述等离子刻蚀为，将所述惰性气体等离子化，并利用电场引导等离子化的所述惰性气体轰击所述第一电致变色层。