[发明专利]一种传感器、电子装置及传感器的制作方法在审
| 申请号： | 202010969802.9 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112146684A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 曹江浪;方鹏;李光林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 黎坚怡 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 电子 装置 制作方法 | ||
1.一种传感器，其特征在于，所述传感器包括：
第一压电驻极体和第二压电驻极体；
第一信号端金属电极，设置于所述第一压电驻极体的一侧面上，且朝向第一方向延伸；
接地端金属电极，设置于所述第一压电驻极体和所述第二压电驻极体之间；
第二信号端金属电极，设置于所述第二压电驻极体背离所述接地端金属电极的一侧面上，且朝向与所述第一方向垂直的第二方向延伸。
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，
所述第一信号端金属电极的数量包括至少两个，且分别间隔平行设置于所述第一压电驻极体的一侧面上，并朝向所述第一方向延伸。
3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，
所述第二信号端金属电极的数量包括至少两个，且分别间隔平行设置于所述第二压电驻极体背离所述接地端金属电极的一侧面上，并朝向所述第二方向延伸。
4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，
所述第一压电驻极体、所述第一信号端金属电极以及所述接地端金属电极均为长方体结构，且所述第一信号端金属电极和所述接地端金属电极在所述第一压电驻极体一侧面上的投影面积均小于所述第一压电驻极体一侧面的表面积。
5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，
所述接地端金属电极包括第一接地端金属电极和第二接地端金属电极，所述第一接地端金属电极一侧面设置于所述第一压电驻极体背离所述第一信号端金属电极的另一侧面上，所述第二接地端金属电极的一侧面设置于所述第二压电驻极体背离所述第二信号端金属电极的另一侧面上，且所述第二接地端金属电极的另一侧面设置于所述第一接地端金属电极的另一侧面上。
6.根据权利要求5所述的传感器，其特征在于，
所述第二接地端金属电极与所述第一接地端金属电极之间设置有导电胶，以通过所述导电胶粘接于所述第一接地端金属电极上。
7.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，
所述第一压电驻极体和所述第二压电驻极体均是采用内部包括有孔洞结构的压电材料制成。
8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，
所述第一信号端金属电极、所述接地端金属电极以及所述第二信号端金属电极的厚度均不大于1μm。
9.一种电子装置，其特征在于，所述电子装置包括相互电连接的信号处理器和传感器，其中，所述传感器为如权利要求1-8任一项所述的传感器。
10.一种传感器的制作方法，其特征在于，所述传感器的制作方法包括：
提供第一压电驻极体和第二压电驻极体，在所述第一压电驻极体和所述第二压电驻极体的一侧面上分别贴设沿第一方向延伸的第一掩膜，以及沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸的第二掩膜；
在所述第一掩膜和所述第二掩膜上分别制作形成第一信号端金属电极和第二信号端金属电极，并去除所述第一掩膜和所述第二掩膜；
在所述第一压电驻极体和所述第二压电驻极体背离所述第一信号端金属电极和所述第二信号端金属电极的另一侧面上分别制作形成第一接地端金属电极和第二接地端金属电极；
将所述第一接地端金属电极与所述第二接地端金属电极叠层连接，以获取到所述传感器。
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