[发明专利]电容式微机械气压传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种电容式微机械气压传感器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底内设置有气腔和气体传输通道，所述气体传输通道将所述气腔与外界连通；

分布式电容阵列，所述分布式电容阵列设置在所述衬底内，所述分布式电容阵列之间设置有所述气体传输通道；

导电介质，所述导电介质可移动地设置在所述气体传输通道中；

加热件，所述加热件设置在所述衬底内，并与所述气腔相对应，以通过加热所述气腔内的气体推动所述导电介质在所述气体传输通道内移动。

2.根据权利要求1所述的电容式微机械气压传感器，其特征在于，所述分布式电容阵列包括多个第一电容极板和多个第二电容极板；

所述多个第一电容极板位于所述气体传输通道背离所述气腔的一侧，并沿所述气体传输通道的长度方向间隔设置；

所述多个第二电容极板位于所述气体传输通道朝向所述气腔的一侧，并沿所述气体传输通道的长度方向间隔设置；以及，

每个所述第一电容极板对应至少一个所述第二电容极板。

3.根据权利要求2所述的电容式微机械气压传感器，其特征在于，所述电容式微机械气压传感器还包括第一绝缘层和第二绝缘层，所述第一绝缘层与所述第二绝缘层相对间隔设置；以及，

所述第一绝缘层包覆所述多个第一电容极板，所述第二绝缘层包覆所述多个第二电容极板，所述第一绝缘层与所述第二绝缘层之间的间隔设置有所述气体传输通道。

4.根据权利要求1至3任一项所述的电容式微机械气压传感器，其特征在于，所述加热件包括多个加热电阻，所述多个加热电阻沿所述气腔的长度方向间隔设置。

5.根据权利要求4所述的电容式微机械气压传感器，其特征在于，在所述电容式微机械气压传感器包括第一绝缘层时，所述第一绝缘层还包覆所述多个加热电阻。

6.根据权利要求1至3任一项所述的电容式微机械气压传感器，其特征在于，所述衬底包括键合设置的第一衬底和第二衬底；

所述第一衬底朝向所述第二衬底的一侧设置有所述加热件以及部分所述分布式电容阵列；

所述第二衬底朝向所述第一衬底的一侧设置有所述气腔、所述气体传输通道以及另一部分所述分布式电容阵列。

7.根据权利要求6所述的电容式微机械气压传感器，其特征在于，所述电容式微机械气压传感器还包括第三绝缘层，所述第三绝缘层设置在所述第二衬底和所述另一部分分布式电容阵列之间。

8.根据权利要求1至3任一项所述的电容式微机械气压传感器，其特征在于，所述导电介质采用导电液滴。

9.一种电容式微机械气压传感器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

分别提供第一衬底和第二衬底；

在所述第一衬底上形成加热件、多个第一电容极板以及形成包覆所述加热件和所述多个第一电容极板的第一绝缘层；

在所述第二衬底上依次形成第三绝缘层和多个第二电容极板以及形成包覆所述多个第二电容极板的第二绝缘层，并在所述第二绝缘层上形成深槽和浅槽；

将所述第二衬底与所述第一衬底键合，形成气腔和气体传输通道，所述气体传输通道将所述气腔与外界连通；

在所述气体传输通道内形成导电介质，以制备得到所述电容式微机械气压传感器。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述在所述气体传输通道内形成导电介质，包括：

在低气压条件下将键合形成的传感器结构浸入导电聚合物液体中；

提高外部气压，将少量导电聚合物压入气体传输通道，形成导电液滴。