[发明专利]一种紧凑型266nm短波紫外拉曼光谱仪

权利要求书

1.一种紧凑型266nm短波紫外拉曼光谱仪，其特征在于：包括光源、外光路、色散系统、接收系统和信号采集系统，光源为二极管泵浦全固态266nm短波紫外激光器(1)；外光路包括准直透镜(2)、第一反射镜(3)、二向色镜(4)、扩束镜(5)、滤光片(6)、中继透镜(7)、耦合光纤(8)和整形光纤束(9)，光路走向的空间先后顺序依次为：266nm短波紫外激光器、准直透镜、第一反射镜、二向色镜、扩束镜、样品；短波紫外激光聚焦照射到待测样品上激发出拉曼散射光，拉曼散射光的光路走向空间顺序依次为：样品、扩束镜、二向色镜、滤光片、中继透镜、耦合光纤、整形光纤束；色散系统包括：狭缝(10)、第二反射镜(11)、离轴抛物面反射镜(12)和平面反射式光栅(13)，进入色散系统的拉曼散射光空间走向顺序为：狭缝、第二反射镜、离轴抛物面反射镜、平面反射式光栅、离轴抛物面反射镜；接收系统为背照式CCD线阵传感器(14)；信号采集系统为计算机(15)。

2.根据权利要求1所述的一种紧凑型266nm短波紫外拉曼光谱仪，其特征在于：所述激光器是二极管泵浦全固态266nm短波紫外激光器。

3.根据权利要求1所述的一种紧凑型266nm短波紫外拉曼光谱仪，其特征在于：待测样品激发出的拉曼散射光经过耦合光纤形成圆光斑，在耦合光纤输出端通过法兰进入整形光纤束输入端，将圆光斑进行空间分割，形成多个子光斑，每个子光斑对应一条小孔径的石英紫外光纤，对应形成光纤束，实现大面积圆光斑到长型光斑的光束整形。

4.根据权利要求3所述的一种紧凑型266nm短波紫外拉曼光谱仪，其特征在于，所述整形光纤束的组合方式为下列方式之一：

(1)输入端为3×3×3阵列，输出端为9根光纤组成的一字型排列；

(2)输入端为2×3×2阵列，输出端为7根光纤组成的一字型排列。

5.根据权利要求1所述的一种紧凑型266nm短波紫外拉曼光谱仪，其特征在于：所述滤光片为非平行设置的双片长通滤光片。

6.根据权利要求1所述的一种紧凑型266nm短波紫外拉曼光谱仪，其特征在于：所述整形光纤束线一字段端长度与狭缝长度一致。