[发明专利]一种阻变型ZnO耐蚀薄膜及其制备方法

权利要求书

1.阻变型ZnO耐蚀薄膜在对在氯离子环境中工作的304不锈钢进行保护中的应用，其特征在于，所述阻变型ZnO耐蚀薄膜按照下述步骤进行：

步骤1，将二水合乙酸锌或者二水合乙酸锌和四水合乙酸镁的混合物均匀分散在乙二醇甲醚中，加入与二水合乙酸锌同摩尔量的乙醇胺，均匀分散后在室温20—25摄氏度下进行陈化，以得到溶胶；使用二水合乙酸锌制备溶胶时，乙酸锌浓度为0.1-1mol/L；使用二水合乙酸锌和四水合乙酸镁的混合物制备溶胶时，金属离子总浓度为0.1-1.0mol/L，锌离子与镁离子的摩尔比为Zn：Mg＝(1-x)：x，x为0.05-0.50；

步骤2，使用步骤1得到的溶胶在基底上进行涂膜，以得到涂膜试样；

步骤3，将步骤2得到的涂膜试样置于惰性保护气氛中进行退火处理，自室温20—25摄氏度升温至退火温度，经退火后随炉冷却到室温，即可获得阻变型ZnO耐蚀薄膜；其中升温速度为1-5℃/min，退火温度为350-600℃，退火时间0.5-1.5h。

2.根据权利要求1所述的阻变型ZnO耐蚀薄膜在对在氯离子环境中工作的304不锈钢进行保护中的应用，其特征在于，在步骤1中，使用磁力搅拌器进行搅拌，以分散均匀，搅拌速度为每分钟100—200转，搅拌时间为6—12小时，陈化时间为24小时以上。

3.根据权利要求1所述的阻变型ZnO耐蚀薄膜在对在氯离子环境中工作的304不锈钢进行保护中的应用，其特征在于，在步骤2中，采用静态旋涂法进行涂膜，转速控制在1000-3000r/min，旋涂完毕后，放入80-160℃的烘箱中烘干5-20min，每涂一层重复上述操作，共旋涂6-16层。

4.根据权利要求1所述的阻变型ZnO耐蚀薄膜在对在氯离子环境中工作的304不锈钢进行保护中的应用，其特征在于，在步骤2中，采用静态旋涂法进行涂膜，转速控制在1000-2000r/min，旋涂完毕后，放入100-150℃的烘箱中烘干10-20min，每涂一层重复上述操作，共旋涂8-16层。

5.根据权利要求1所述的阻变型ZnO耐蚀薄膜在对在氯离子环境中工作的304不锈钢进行保护中的应用，其特征在于，在步骤3中，惰性保护气氛为氮气、氦气或者氩气；退火温度为400-600℃，退火时间1-1.5h。