[发明专利]一种靶材和背板的接合方法在审
| 申请号： | 202010959483.3 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112091400A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 大岩一彦;姚科科;廣田二郎;中村晃;林智行;山田浩 | 申请（专利权）人： | 浙江最成半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B23K20/02;B23K20/24 |
| 代理公司： | 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 | 代理人： | 李鑫 |
| 地址： | 312000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 背板 接合 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材和背板的接合方法，其特征在于包括以下步骤：
(1)将内置加热器的金属包套整体预热到300-400℃，然后放置在液压机的机床上；
(2)将背板刚好插入到金属包套的凹槽中，将靶材置于背板上表面中央，再在靶材上表面放置与背板直径相同的压块；
(3)将背板和靶材加热到300-600℃，并向压块上表面施加3-10kg/mm2的压力，在该温度和压力下保持30-120min后，取出附着率达99％以上的背板和靶材，即完成背板和靶材的接合。
2.根据权利要求1所述的一种靶材和背板的接合方法，其特征在于：所述的靶材为铝、铝合金、铜、铜合金、钛、镍或者镍合金，所述的背板为铝合金、铜或者铜合金。
3.根据权利要求1所述的一种靶材和背板的接合方法，其特征在于：所述的金属包套由低热膨胀及高强度的不锈钢或者铁质材料构成。
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