[发明专利]一种匀胶显影均温加热装置

权利要求书

1.一种匀胶显影均温加热装置，包括加热盘体(1)，其特征在于：所述加热盘体(1)包括上盖(11)与下盖(12)，所述上盖(11)表面为晶圆加热面，所述上盖(11)与下盖(12)扣合到一起，接合缝处密封后成为一个密封腔体式的托盘，所述腔体腔内充满导热液体，所述上盖(11)上表面潜表固定温度传感器(2)，所述下盖(12)印刷加热电路(3)，所述温度传感器(2)及加热电路(3)接入控制器。

2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影均温加热装置，其特征在于：所述上盖(11)与下盖(12)材料包括但不限于铜、铝、不锈钢、各种合金等导热效果好的材料。

3.根据权利要求1所述的一种匀胶显影均温加热装置，其特征在于：所述导热液体可以选择但不限于：导热油、纯水、有机溶剂等。

4.根据权利要求3所述的一种匀胶显影均温加热装置，其特征在于：所述导热液体为合成芳烃导热油，比热约为0.6J/Kg·K，与铝相近，即与铝升温速度相近。

5.根据权利要求1所述的一种匀胶显影均温加热装置，其特征在于：所述腔体侧面圆周壁，加热电路(3)与下盖(12)间均涂附隔热绝缘层(4)。