[发明专利]超大电流开尔文测试探针

说明书

本发明公开了一种超大电流开尔文测试探针，包括平行设置的第一探针本体和第二探针本体，所述第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚经由头部套筒贯穿伸出；所述第一探针本体和第二探针本体的中部套接有中部套筒，所述第一探针本体和第二探针本体上套接有位于中部套筒上方的弹簧；所述第一探针本体和第二探针本体下端均套接有尾部套筒，所述尾部套筒的上端紧贴着中部套筒的下端。本发明可实现第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚与芯片为弹性接触，从而保护芯片不至于损坏芯片。确保第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚能准确地接触芯片。解决开尔文测试过程中的大电流问题和精密电阻测量。

技术领域

本发明涉及半导体芯片测试技术领域，具体为一种超大电流开尔文测试探针。

背景技术

当被测电阻阻值小于几欧，测试引线的电阻和探针与测试点的接触电阻与被测电阻相比已不能忽略不计时，若仍采用两线测试方法必将导致测试误差增大。为提高测量精度，采用开尔文连接方式来进行测试。开尔文测试采用四线检测，一般多用于有大电流要求或精密电阻测试的要求。其中，开尔文探针的设计是其中的关键。为此，我们推出一种超大电流开尔文测试探针。

发明内容

本发明的目的在于提供一种超大电流开尔文测试探针，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种超大电流开尔文测试探针，包括平行设置的第一探针本体和第二探针本体，所述第一探针本体和第二探针本体的上端分别连接有第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚，所述第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚经由头部套筒贯穿伸出；

所述第一探针本体和第二探针本体的中部套接有中部套筒，所述第一探针本体和第二探针本体上套接有位于中部套筒上方的弹簧；

所述第一探针本体和第二探针本体下端均套接有尾部套筒，所述尾部套筒的上端紧贴着中部套筒的下端。

作为本技术方案的进一步优化，所述第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚经由头部套筒上对应的开口贯穿伸出。

作为本技术方案的进一步优化，所述第一接触芯片引脚和头部套筒之间通过第一粘合物连接，所述尾部套筒的下端与第一探针本体和第二探针本体的接触处设有第二粘合物。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明首先头部套筒将第一探针本体和第二探针本体分开，第一粘合物(其可以是胶水类，树脂类，焊锡等)将头部套筒和第一探针本体固定在一起，第一探针本体和第二探针本体中部转入弹簧，第一探针本体和第二探针本体的中部套接有中部套筒，中部套筒并在第一探针本体和第二探针本体的尾部装有尾部套筒，在尾部套筒的根部用第二粘合物(其可以是胶水类，树脂类，焊锡等)粘接，确保第一探针本体和第二探针本体的尾部与尾部套筒粘接在一起，第一探针本体和第二探针本体的尾端分别连接测试板的force端和sense端，这样实现开尔文连接测试。

在实际测试的过程中，芯片接触第一探针本体和第二探针本体上端的第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚，第一探针本体和第二探针本体在中部套筒的孔里上下自由活动，第一探针本体和第二探针本体向下压缩弹簧从而实现第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚与芯片为弹性接触，从而保护芯片不至于损坏芯片。

测试时电流通过第一探针本体和第二探针本体流入测试板，不经过弹簧，第一探针本体和第二探针本体选用实体电流，耐电流能力远远高于传统的弹簧探针，整个设计中，弹簧只起到接触芯片的弹力，不通过电流。

第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚设计为方形，对应头部套筒上设为开口也设计为方形，这样能固定第一探针本体和第二探针本体与头部套筒的方向，同时保证第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚之间的距离，确保第一接触芯片引脚和第二接触芯片引脚能准确地接触芯片。解决开尔文测试过程中的大电流问题和精密电阻测量。

附图说明

图1为本发明分解结构示意图；