[发明专利]一种基于数字全息显微镜的自动离焦校正算法在审

专利信息
申请号: 202010953502.1 申请日: 2020-09-11
公开(公告)号: CN111812839A 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 左超;张晓磊;沈德同 申请(专利权)人: 南京理工大学智能计算成像研究院有限公司
主分类号: G02B27/00 分类号: G02B27/00;G03H1/00
代理公司: 北京翔瓯知识产权代理有限公司 11480 代理人: 向维登
地址: 210000 江苏省南京市建邺*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 数字 全息 显微镜 自动 校正 算法
【权利要求书】:

1.一种基于数字全息显微镜的自动离焦校正算法,其特征在于步骤如下:

步骤一,样品包裹相位求解:手动调节样品的焦点位置,采集当前位置下的样品干涉全息图并记为Ih(x,y),基于离轴全息系统,样品频谱会自动分为三项,用带通滤波器提取出+1级光谱,对其进行傅里叶逆变换,从而获得样品的包裹相位分布ω(x,y)

步骤二,聚焦评价函数计算:对包裹的复振幅分布进行角谱传播z,再根据拉普拉斯算子,计算每个像素在水平和垂直两个方向相位分布中的二维差分,得到样品相位分布的二维差分矩阵,将两个方向上的二维差分矩阵求和,得到相位分布的整体评价矩阵,最后求解得到z平面上的均方根误差;

步骤三,离焦距离确定:采用二分法计算-150nm到+150nm范围的平面内的均方根误差直至找到具有最大均方根误差的平面,即定义的聚焦面,此时的z被认为是精确的离焦距离;

步骤四,样品相位恢复:将精确的离焦量带入样品的复振幅进行角谱传播,得到聚焦面的角谱A(fx,fy,z),再通过逆傅里叶变换获得清晰的样品复振幅分布U(x,y,z),从而得到离焦校正后样品的相位分布。

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