[发明专利]流量测量装置

说明书

本发明提供一种流量测量装置，抑制由于流路中流动的杂质的影响引起的传感器元件的输出变动。本发明的流量测量装置具备：配置在流路中输出与根据在流路中流动流体的流量而变化的该流体的流动方向的温度差相关的值，使用该输出的值检测流量的流量检测部；在流路中覆盖流量检测部的覆盖部件。覆盖部件具有：设置在配置流量检测部的部分的上游侧，使流体从覆盖部件的外部的流路向覆盖部件的内部且配置有流量检测部的部分流入的流入孔；设置在流量检测部的下游侧，使流体从覆盖部件的内部且配置有流量检测部的部分向覆盖部件的外部的流路流出的流出孔，配置有流量检测部的部分的上游侧的覆盖部件的外侧面具有向流入孔的入口方向倾斜的倾斜面。

技术领域

本发明涉及一种流量测量装置。

背景技术

公开有一种利用流量传感器测量在流路内流动的流体的流量的技术(例如专利文献1～3)。专利文献1公开了利用热式流量传感器所具备的热电堆检测流路的温度分布信息，并基于温度分布信息计算流体的流量的内容。专利文献2公开了在电子化气体流量表内的流路上设置流量传感器和整流器。专利文献3公开了一种热式流量传感器，该热式流量传感器具备包含第一基板和第二基板的基板和设置在基板上的上部流路形成部件。并且，在上部流路形成部件的下面设有矩形的凹部，凹部在与第二基板的上面之间形成第二流路，另外，在凹部设有通向外部的流入口和流出口。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3658321号公报

专利文献2：日本特开2007-086085号公报

专利文献3：日本特开2012-141181号公报

在利用热式流量传感器测量在流路内流动的流体的流量的情况下，该流量传感器以检测流路的温度分布的传感器元件露出在流路的状态的方式配置。但是，如果传感器元件这样配置，则考虑到由于在流路内流动的流体中混入灰尘或尘埃等杂质的影响，检测该温度分布的传感器元件的输出发生变动。即，本发明的发明人发现在如上所述配置流传感器的情况下，流量测量的精度下降。

发明内容

本发明在一方面是鉴于这样的实际情况而完成的，其目的是提供一种抑制由于在流路中流动的杂质的影响而引起的传感器元件的输出变动的技术。

本发明为了解决上述问题，采用以下结构。

即，本发明的一方面的流量测量装置具备：流量检测部，其配置在流路中，输出与根据在所述流路中流动的流体的流量而变化的该流体的流动方向的温度差相关的值，并使用该输出的值检测所述流量；覆盖部件，其在所述流路中覆盖所述流量检测部，所述覆盖部件具有：流入孔，其设置在配置有所述流量检测部的部分的上游侧，能够使流体从所述覆盖部件的外部的所述流路向所述覆盖部件的内部且配置有所述流量检测部的部分流入；流出孔，其设置在所述流量检测部的下游侧，能够使流体从所述覆盖部件的内部且配置有所述流量检测部的部分向所述覆盖部件的外部的所述流路流出，配置有所述流量检测部的部分的上游侧的所述覆盖部件的外侧面具有向所述流入孔的入口方向倾斜的倾斜面。

当杂质到达配置有流量检测部的地方时，可以考虑与流量检测部输出的流体的流动方向的温度差有关的信息发生变动。但是，根据该结构，通过具备覆盖部件，能够抑制在流路中流动的杂质到达流量检测部。因此，抑制来自流量检测部的输出的变动。因此，抑制流量的检测精度的下降。另外，在覆盖部件的内部设置有流路的情况下，在配置有流量检测部的地方附近的流体的流动被整流。也就是说，流量测量装置的灵敏度提高。